[发明专利]一种MEMS产品的印制电路板

说明书

技术领域

本发明属于MEMS产品技术领域，具体涉及一种MEMS产品的印制电路 板。

背景技术

当今社会，信息化产业发展迅速，电子产品呈现出轻薄化、小型化的发展 趋势，随之，印制电路板(比如PCB或FPC等)的封装方式也在不断地发生改 变，对印制电路板的设计与制造工艺提出了更高的要求。其中，对印制电路板 的平整度的要求更为苛刻，因为只有保证了印制电路板的平整度，才能精确地 控制元器件在其表面的焊接、贴片等工序满足使用要求。

特别是在MEMS产品的制造过程中，通常来说，MEMS产品要求以一个大 板中包含多个重复产品单元的形式(即出货单位，英文简称“SET”)出货，产 品较薄(一般在0.2～0.3mm之间)，其中SET的翘曲度通常要求小于0.75％。 然而，在实际生产中，因为在印制电路板表面埋容、埋阻以及覆盖油墨等工艺 都会出现不同程度的胀缩，经过高温制程后，MEMS产品非常容易翘曲。当 MEMS产品发生严重翘曲(即SET的翘曲度＞0.75％)时，需要花费大量的人 力物力去返工，而返工过程还可能带来其它问题，比如阻焊油墨变色、镀银面 氧化发黄、擦花等，这样会造成生产成本的增加、原材料的浪费以及能源的过 度使用，甚至还会严重影响MEMS产品的稳定性和可靠性，不利于高精尖电子 产品的大批量生产。

发明内容

本发明的目的在于针对现有技术的缺陷，提供了一种MEMS产品的印制电 路板，其用于MEMS产品可以有效地改善MEMS产品的翘曲问题，从而保证出 货单位(SET)整体的翘曲度满足使用要求(＜0.75％)。

为了达到上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种MEMS产品的印制电路板，其特征在于：

所述印制电路板的出货单位内设有用于分割所述出货单位的第一经纬分隔 线；所述印制电路板的废料区的铜层设为多个网格铜；覆盖于所述印制电路板 表面的油墨层设有第二经纬分隔线，所述第二经纬分隔线分割所述出货单位内 的产品单元表面的所述油墨层之外的其余所述油墨层。

进一步的，所述网格铜的网格形状设为正方形。

进一步的，所述网格铜的网格尺寸为2mm×2mm～10mm×10mm。

进一步的，所述网格铜的网格形状还设为菱形、长方形、三角形或者六角 形。

进一步的，所述网格铜的网格分隔线宽度为0.1mm～1.0mm。

进一步的，所述第一经纬分隔线分割所述出货单位的具体形式包括：所述 出货单位包括多个所述产品单元和位于所述产品单元外部的空白区铜层，所述 第一经纬分隔线将所述出货单位分割成多个第一独立小块，所述第一独立小块 将所述空白区铜层以网格形式分割。

进一步的，每个所述第一独立小块的尺寸为5mm×5mm～50mm×50mm。

进一步的，所述第二经纬分隔线分割所述产品单元表面的所述油墨层之外 的其余所述油墨层的具体形式包括：所述第二经纬分隔线将所述产品单元表面 的所述油墨层之外的其余所述油墨层分割成多个第二独立小块。

进一步的，每个所述第二独立小块的尺寸为5mm×5mm～50mm×50mm。

进一步的，所述印制电路板包括PCB或FPC。

与现有技术相比，本发明的有益技术效果如下：

本发明提供了一种MEMS产品的印制电路板，其充分考虑了出货单位 (SET)、油墨层以及废料区大块的铜层等不同材料层的不同胀缩效应，在出货 单位(SET)、油墨层(除产品单元表面的油墨层外)上增加了经纬分隔线的特 征设计，在废料区的铜层增加了网格线的特征设计，从而将容易导致胀缩的区 域分割成多个独立的小区域，有效地改善了MEMS产品的印制电路板的内应力 结构。基于本发明，在MEMS产品生产设计或者制造的过程中，当某一局部由 于不同层的不同材料的胀缩发生翘曲时，这一翘曲变形仅会被约束在独立的小 区域内，使得产品的结构内应力能够得到有效地释放，从而不会加剧出货单位 (SET)整体的翘曲变形，有效保证了其翘曲度满足使用要求(＜0.75％)。进一 步的，将本发明使用到MEMS产品中，可以显著地提高了MEMS产品的稳定性 和可靠性，非常有利于尖端MEMS产品的批量化生产。

附图说明

图1为本发明所述的MEMS产品的印制电路板的一种结构示意图(省略部 分第二经纬分隔线)；