[发明专利]基板传送装置及其传送方法

权利要求书

1.一种基板传送装置，其特征在于，包括：往复对位机构和取屏机构；其中：

所述往复对位机构包括：用于承载所述基板的承载平台，用于驱动所述承载平台带动所承载的基板移动并对位到设定位置的第一驱动机构；

所述取屏机构位于所述往复对位机构上的基板的垂直方向上、且包括：用于拾取所述往复对位机构上的基板的拾取臂，用于驱动所述拾取臂移动的第二驱动机构，当所述往复对位机构移动到设定位置时，所述第二驱动机构用于驱动所述拾取臂拾取所述往复对位机构上的基板；

至少一个放屏手臂，所述取屏机构将拾取的基板移送到一放屏手臂上；其中：每个放屏手臂包括：用于承载所述取屏机构移送来的基板的传送平台，用于驱动所述传送平台移动的第三驱动机构；

所述传送平台设有用于吸附所述取屏机构移送来的基板的多个真空吸孔。

2.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述至少一个放屏手臂的个数为两个，且两个所述放屏手臂相对任一放屏手臂的移动方向对称。

3.根据权利要求2所述的基板传送装置，其特征在于，所述第一驱动机构包括：

用于驱动所述承载平台沿第一方向运动的第一驱动单元；

用于驱动所述承载平台沿第二方向运动的第二驱动单元，其中：所述第二方向平行于所述两个放屏手臂的排列方向，所述第一方向垂直于所述第二方向。

4.根据权利要求3所述的基板传送装置，其特征在于，所述第一驱动单元包括：

第一丝杠和用于驱动所述第一丝杠旋转的第一驱动电机，所述承载平台与所述第一丝杠滑动连接；和/或，

所述第二驱动单元包括：第二丝杠和用于驱动所述第二丝杠旋转的第二驱动电机，所述承载平台与所述第二丝杠滑动连接。

5.根据权利要求3所述的基板传送装置，其特征在于，还包括：位于所述往复对位机构上方的导轨，所述导轨的延伸方向平行于所述第二方向；

所述取屏机构与所述导轨滑动连接、可沿所述导轨滑动。

6.根据权利要求5所述的基板传送装置，其特征在于，所述第二驱动机构包括：

设置于所述安装架内、用于驱动所述拾取臂沿第三方向移动的第三驱动单元；

用于驱动所述拾取臂沿所述第二方向移动的第四驱动单元，其中：所述第三方向与所述第一方向和第二方向均垂直。

7.根据权利要求6所述的基板传送装置，其特征在于，所述第三驱动单元包括：第三丝杠和用于驱动所述第三丝杠旋转的第三驱动电机，所述拾取臂与所述第三丝杠滑动连接。

8.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述拾取臂上设有用于吸附所述基板的真空吸盘。

9.根据权利要求8所述的基板传送装置，其特征在于，所述第三驱动机构包括：第四丝杠和用于驱动所述第四丝杠旋转的第四驱动电机，所述传送平台与所述第四丝杠滑动连接。

10.根据权利要求3～9任一项所述的基板传送装置，其特征在于，还包括：

设置于每个放屏手臂远离所述往复对位机构一端的存储匣，每个所述存储匣用于存储对应的放屏手臂传送的基板，每个所述存储匣包括至少两层存储室，每个存储室用于容纳一所述基板；

与每个存储匣一一对应的第四驱动机构，每个第四驱动机构用于驱动对应的存储匣沿第三方向移动；其中：所述第三方向与所述第一方向和第二方向均垂直。

11.一种应用于如权利要求1～10任一项所述的基板传送装置的传送方法，其特征在于，包括：

步骤一：将待传送的基板放置在往复对位机构的承载平台上；

步骤二：所述往复对位机构中的第一驱动机构驱动所述承载平台带动所承载的基板移动到设定位置；

步骤三：所述取屏机构中的第二驱动机构驱动所述取屏机构中的拾取臂拾取所述往复对位机构上的基板。