[发明专利]基于强度调制的白光干涉相位显微系统及其相位计算方法

权利要求书

1.一种基于强度调制的白光干涉相位显微系统的相移干涉相位计算方法，其特征在于，具体包括以下步骤：

步骤S100：改变光源强度，通过基于强度调制的白光干涉相位显微系统获得具有不同强度的4幅成像图样；

步骤S200：4幅成像图样根据不同的光源强度所具有的不同灰度值通过透射式纯振幅空间光调制器转换成不同的透过率，4个不同灰度值的透射式纯振幅空间光调制器透过率分别为：，，，；

步骤S300：将式1整理成式2：

（1）

其中，代表参考光的振幅，代表物体信息光的振幅，代表物体的相位分布，代表干涉图中像素点的位置，代表透射式纯振幅空间光调制器200的透过率，将式1整理成式2：

（2）

步骤S400：再将式（2）整理成式（3）的矩阵形式：

（3）

步骤S500：分别将，，，代入式3中，得到4个表达式；

步骤S600：通过步骤S500的4个表达式求出，和；

步骤S700：再求出和；

步骤S800：最后求得和干涉图相关联的相位分布：

。

2.根据权利要求1所述的基于强度调制的白光干涉相位显微系统的相移干涉相位计算方法，其特征在于，所述基于强度调制的白光干涉相位显微系统包括：

显微镜装置，用于显微成像；

第一透镜组，置于显微镜装置的成像面后面；

透射式纯振幅空间光调制器，用于对经过傅里叶变换后的光进行分区域强度调制，放置在第一透镜组的后焦面上；

第二透镜组，置于透射式纯振幅空间光调制器后方，与第一透镜组组成4f系统；

相机，用于对样品进行成像，置于透镜组的后焦面上。

3.根据权利要求2所述的基于强度调制的白光干涉相位显微系统的相移干涉相位计算方法，其特征在于，所述第一透镜组与显微镜装置成像面的距离等于第一透镜组本身的焦距。

4.根据权利要求2所述的基于强度调制的白光干涉相位显微系统的相移干涉相位计算方法，其特征在于，所述显微镜装置包括集光镜、孔径光阑、聚光镜、显微物镜、反射镜和镜筒透镜组，光源依次经过集光镜、孔径光阑、聚光镜、显微物镜、反射镜和镜筒透镜组，待测样品置于显微物镜上方。

5.根据权利要求4所述的基于强度调制的白光干涉相位显微系统的相移干涉相位计算方法，其特征在于，所述光源采用卤素灯。