[发明专利]红外硫系玻璃表面镀类金刚石薄膜的制备方法在审

专利信息
申请号: 201610165667.6 申请日: 2016-03-22
公开(公告)号: CN107217259A 公开(公告)日: 2017-09-29
发明(设计)人: 杨阳 申请(专利权)人: 杨阳
主分类号: C23C28/04 分类号: C23C28/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 430050 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 红外 玻璃 表面 金刚石 薄膜 制备 方法
【权利要求书】:

1.本发明是在不同材质的红外光学镜片表面沉积类金刚石薄膜(DLC)的一种制备方法,其特征在于过渡层的制备,实现了类金刚石薄膜的沉积条件和良好的膜层间的附着力支撑,过渡层以Ge为最外层,并用ZnS、Ge两种材料交替使用,即G | ZnS Ge ZnS Ge DLC | Air,根据实际需要,使用光学薄膜软件优化可以计算出每层需要镀膜的厚度,而达到最优良的光谱特性。

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