[发明专利]用于湿法工艺设备的气液分离装置有效
申请号: | 201610168121.6 | 申请日: | 2016-03-23 |
公开(公告)号: | CN107224785B | 公开(公告)日: | 2019-09-10 |
发明(设计)人: | 黄荣龙;吕峻杰;陈滢如 | 申请(专利权)人: | 盟立自动化股份有限公司 |
主分类号: | B01D45/06 | 分类号: | B01D45/06;B01D45/14;B01D45/18;B01D53/26 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人: | 翟羽 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 湿法 工艺设备 分离 装置 | ||
技术领域
本发明涉及一种气液分离装置,特别是涉及一种用于湿法工艺设备的气液分离装置。
背景技术
湿法工艺设备广泛用在半导体元件的制造。在湿法工艺中湿法工艺设备须采用大量的化学药液,其大多为具有酸性或碱性等腐蚀性的物质。因此,从湿法工艺设备内流出的化学性气液混合物中往往带有具有腐蚀性的化学液体。基于环境保护与安全的考量,必须将湿法工艺设备内的化学性气液混合物加以处理将化学性气液混合物中的化学液体分离后才可排放。
请参照图1,其显示一种现有的气液分离装置10的示意图。所述气液分离装置10包含一输入通道P1、一位在底部的排液通道P2和一位在上方的排气通道P3,其中所述气液分离装置10的所述输入通道P1与一湿法工艺设备20连接、所述排液通道P2与一液体回收装置30连接、以及所述排气通道P3与一气体处理装置40连接。在使用时,所述湿法工艺设备20内的化学性气液混合物50通过所述输入通道P1进入所述气液分离装置10内。所述化学性气液混合物50进入所述气液分离装置10后,所述化学性气液混合物50中的化学液体51会自然地向下方滴落,并且通过在所述气液分离装置10底部的所述排液通道P2收集到所述液体回收装置30内。另一方面,剩余的废气52则会通过位在所述气液分离装置10上方的所述排气通道P3收集至所述气体处理装置40内。
然而,由于所述气液分离装置10内的空间有限,容易发生化学性气液混合物50还没有被气液分离完全时就已经被送入所述排气通道P3中,使得进入所述气体处理装置40的废气52中依然带有大量的化学液体,进而导致所述气体处理装置40内的元件受到腐蚀而损坏。另一方面,当化学性气液混合物50中的化学液体51被分离且被收集至所述液体回收装置30后,可将所述液体回收装置30内回收的化学液体51经处理后再次使用。也就是说,若是能增加所述气液分离装置10的气液分离的效能即可有效地减少生产成本。因此,为了增强所述气液分离装置10的气液分离的效能,现有的做法是通过在所述气液分离装置10内设置拉西环或者是菜瓜布…等元件,以增加化学性气液混合物50在所述气液分离装置10内的行经路径。然而,上述方法对于增加气液分离的效果有限,有鉴于此有必要提供一种气液分离装置,以解决现有技术所存在的问题。
发明内容
为解决上述技术问题,本发明的目的在于提供一种气液分离装置,其内部设置有螺旋杆,位在所述气液分离装置的输入通道和排气通道之间。因此,当化学性气液混合物通过所述螺旋杆时,所述化学性气液混合物中的所述化学液体会凝结且附着在所述螺旋杆上,使得所述螺旋杆能有效地增加化学性气液混合物在所述气液分离装置内的行经路径,进而增强气液分离的功效。
为达成上述目的,本发明提供一种用于湿法工艺设备的气液分离装置,包含:一输入通道,与一湿法工艺设备连接,用于将所述湿法工艺设备的一化学性气液混合物输入所述气液分离装置内;一螺旋杆,设置在所述气液分离装置的内部,用于将所述化学性气液混合物分离为一废气和一化学液体;一排液通 道,位于所述湿法工艺设备的底部,与一用于收集所述化学液体的液体回收装置连接;以及一排气通道,用于将所述废气排出。
于本发明其中之一优选实施例当中,所述螺旋杆设置在所述化学性气液混合物从所述输入通道前往所述排气通道的行经路径之间。
于本发明其中之一优选实施例当中,所述螺旋杆包含一轴杆和多个形成在所述轴杆上的叶片。
于本发明其中之一优选实施例当中,所述螺旋杆的所述轴杆与一马达连接以接收所述马达的驱动,使得所述多个叶片与所述轴杆一同旋转。
于本发明其中之一优选实施例当中,所述螺旋杆的所述轴杆包含一中心空穴和多个从所述中心空穴连通至所述轴杆外部的开孔,并且所述轴杆与一外部气体供应设备连接,用于将一气体输入所述轴杆的所述中心空穴内。
于本发明其中之一优选实施例当中,所述螺旋杆的所述轴杆与所述气液分离装置的侧壁平行。
于本发明其中之一优选实施例当中,所述气液分离装置还包含一多孔元件,设置在所述气液分离装置的侧壁上。
于本发明其中之一优选实施例当中,所述多孔元件为金属网。
于本发明其中之一优选实施例当中,所述多孔元件为铁丝网。
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