[发明专利]一种可调激光器及制备方法

权利要求书

1.一种热调谐的波长可调激光器，其特征在于，包括：加热层，传输层，反射镜，支撑层和衬底层，其中，

所述加热层，位于所述传输层的上方；

所述传输层，位于所述支撑层上方，从上到下包括上包层，波导层和下包层；

所述反射镜，位于所述传输层中；

所述支撑层，位于所述传输层和所述衬底层之间，具有保护结构，所述保护结构与所述传输层和所述衬底层一起形成中空结构，所述中空的部分具有支撑结构；

所述衬底层，位于所述支撑层的下方。

2.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，沿第一方向，所述支撑结构与所述保护结构之间具有空隙，所述第一方向为光在波导层中的传输方向。

3.根据权利要求1或2所述的激光器，其特征在于，沿第二方向，所述支撑结构与所述保护结构之间具有空隙，所述第二方向垂直于光在波导层中的传输方向。

4.根据权利要求3所述的激光器，其特征在于，所述支撑结构的数量大于或等于一个。

5.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述反射镜位于所述传输层中上包层的下半部分，或所述下包层的上半部分，或在上包层和波导层中各存在一部分，或在下包层和波导层中各存在一部分。

6.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述传输层还包括：

第一阻挡层，位于所述下包层的下方。

7.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述衬底层还包括：

第二阻挡层，位于所述衬底材料层上方；

衬底材料层，位于所述第二阻挡层下方。

8.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述传输层还包括：

介质层，位于所述上包层上方。

9.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，沿第一方向，包含反射镜部分的传输层与两侧传输层材料具有空隙，形成悬空结构，所述空隙在反射镜沿第一方向的长度范围内，将所述悬空结构和所述两侧传输层材料完全隔离开，使所述悬空结构和所述两侧传输层材料无连接，其中，所述第一方向为光在波导层中的传输方向。

10.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，沿第一方向，包含反射镜的部分传输层与两侧传输层材料具有空隙，形成悬空结构，所述空隙在反射镜沿第一方向的长度范围内，将所述悬空结构和所述两侧传输层材料部分隔离开，使所述悬空结构和所述两侧传输层材料具有一个或多个连接结构，其中，所述第一方向为光在波导层中的传输方向。

11.根据权利要求9或10所述的激光器，其特征在于，所述悬空结构沿第一方向具有宽窄不一的宽度。

12.根据权利要求11所述的激光器，其特征在于，所述悬空结构更宽的部分下方具有所述支撑结构，所述悬空结构更窄的部分下方不具有所述支撑结构。

13.根据权利要求11所述的激光器，其特征在于，所述悬空结构更宽的部分下方具有体积大的支撑结构，所述悬空结构更窄的部分下方具有体积小的支撑结构。

14.根据权利要求11所述的激光器，其特征在于，所述悬空结构沿第一方向的宽度，要大于或等于所述反射镜沿第一方向的宽度。

15.一种热调谐的波长可调激光器的制备方法，其特征在于，包括：

生长出带有多层材料的基底，所述多层基底包括传输层，支撑层和衬底层，其中，所述传输层，位于所述支撑层上方，从上到下包括上包层，波导层和下包层，在所述传输层中还存在反射镜；所述支撑层，位于所述传输层和所述衬底层之间；所述衬底层，位于所述支撑层的下方；

在所述传输层上方沉积加热层；

采用第一刻蚀剂刻蚀所述支撑层，让所述支撑层形成保护结构，所述保护 结构与所述传输层和所述衬底层一起形成中空结构，所述中空的部分具有支撑结构。

16.根据权利要求15所述的制备方法，其特征在于，在所述传输层中存在反射镜，具体包括：在所述上包层的下半部分存在所述反射镜，或所述下包层的上半部分存在所述反射镜，或在上包层和波导层中各存在一部分所述反射镜，或在下包层和波导层中各存在一部分所述反射镜。