[发明专利]片基板的搬送装置及处理装置

权利要求书

1.一种片基板的搬送装置，是将具有可挠性的片基板以卷轴方式搬送至处理装置，其特征在于，所述片基板的搬送装置具备：

基板供应机构，具备卷有所述片基板的供应滚筒，用以对所述处理装置沿长条方向供应所述片基板；

基板回收机构，具备卷有所述片基板的回收滚筒，用以回收从所述处理装置搬出的所述片基板；

第一移动机构，以将所述片基板横挂于所述供应滚筒与所述回收滚筒间的状态于与所述长条方向交叉的方向使所述基板供应机构与所述基板回收机构移动；以及

第二移动机构，以将所述片基板横挂于所述供应滚筒与所述回收滚筒间的状态使所述基板供应机构与所述基板回收机构的至少一方移动于所述长条方向。

2.根据权利要求1所述的片基板的搬送装置，其特征在于，所述基板供应机构与所述基板回收机构分别具备使所述供应滚筒与所述回收滚筒的各个旋转的旋转驱动部；

在通过所述第二移动机构使所述基板供应机构或所述基板回收机构移动于所述长条方向的期间使所述旋转驱动部动作。

3.根据权利要求2所述的片基板的搬送装置，其特征在于，在通过所述第二移动机构使所述基板供应机构与所述基板回收机构以彼此接近的方式移动的期间，以消除横挂于所述供应滚筒与所述回收滚筒间的所述片基板的弯曲的方式使所述旋转驱动部动作。

4.根据权利要求1至3中任一权利要求所述的片基板的搬送装置，其特征在于，所述基板供应机构与所述基板回收机构，配置成所述供应滚筒的旋转轴与所述回收滚筒的旋转轴在所述长条方向分离而成为平行。

5.根据权利要求4所述的片基板的搬送装置，其特征在于，所述第一移动机构，具备在与所述长条方向交叉的方向使所述基板供应机构单独移动的第一驱动部、以及在与所述长条方向交叉的方向使所述基板回收机构单独移动的第二驱动部。

6.根据权利要求5所述的片基板的搬送装置，其特征在于，所述片基板的搬送装置进一步具备：控制部，在所述片基板横挂于所述供应滚筒与所述回收滚筒间的状态下使所述基板供应机构与所述基板回收机构移动于与所述长条方向交叉的方向时，将所述第一驱动部与所述第二驱动部同步控制。

7.根据权利要求4所述的片基板的搬送装置，其特征在于，将卷于所述供应滚筒的所述片基板的前端卷绕于所述回收滚筒时，以所述基板供应机构与所述基板回收机构在所述长条方向接近的方式控制所述第二移动机构。

8.一种片基板的处理装置，是将具有可挠性的片基板搬送于长条方向来处理，其特征在于，所述片基板的处理装置具备：

上部单元与下部单元，所述上部单元与下部单元分别往所述片基板的上侧与下侧分离，以在所述片基板横挂于卷绕有供应至所述处理装置的所述片基板的供应滚筒与卷取以所述处理装置处理后的所述片基板的回收滚筒间的状态下，使所述片基板移动于与所述长条方向交叉的短边方向而搬入所述处理装置内或从所述处理装置内搬出；以及

升降机构，用以使所述上部单元与所述下部单元的任一个或两个升降。

9.根据权利要求8所述的片基板的处理装置，其特征在于，所述片基板的处理装置进一步具备：

基板供应机构，支承所述供应滚筒；

基板回收机构，支承所述回收滚筒；以及

第一移动机构，以所述片基板在所述上部单元与所述下部单元的分离空间移动于所述短边方向的方式使所述基板供应机构与所述基板回收机构一起移动于所述短边方向。

10.根据权利要求9所述的片基板的处理装置，其特征在于，所述片基板的处理装置进一步具备：第二移动机构，在所述片基板从所述处理装置内搬出而横挂于所述供应滚筒与所述回收滚筒间的状态下使所述基板供应机构与所述基板回收机构的至少一个移动于所述长条方向。

11.根据权利要求10所述的片基板的处理装置，其特征在于，所述基板供应机构与所述基板回收机构分别具备使所述供应滚筒与所述回收滚筒的各个旋转的旋转驱动部；

所述旋转驱动部，当在所述处理装置内将所述片基板搬送于所述长条方向来处理时及通过所述第二移动机构使所述基板供应机构或所述基板回收机构移动于所述长条方向时，使所述供应滚筒与所述回收滚筒的各个旋转。

12.根据权利要求11所述的片基板的处理装置，其特征在于，所述上部单元或所述下部单元具备导引所述片基板的搬送的多个滚筒。

13.根据权利要求8至12中任一权利要求所述的片基板的处理装置，其特征在于，所述处理装置是印刷机、电浆装置、蒸镀装置、曝光装置的任一个。