[发明专利]一种线性各向异性磁阻传感器的制备方法有效
申请号: | 201610170027.4 | 申请日: | 2016-03-23 |
公开(公告)号: | CN105866715B | 公开(公告)日: | 2018-12-18 |
发明(设计)人: | 唐晓莉;余尤;苏桦;钟智勇;张怀武 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | G01R33/09 | 分类号: | G01R33/09;G01R33/00;H01L43/08;H01L43/10;H01L43/12;C23C14/35;C23C14/14 |
代理公司: | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人: | 吴姗霖 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 线性 各向异性 磁阻 传感器 制备 方法 | ||
【说明书】:
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