[发明专利]一种用于电沉积的搅拌机构

权利要求书

1.一种用于电沉积的搅拌机构，其特征在于：它包括水平往复移动梁（1）、近阴极悬挂梁（3）、近阴极搅拌桨（5）、远阴极悬挂梁（8）、远阴极搅拌桨（7）和限位座（4）；所述的水平往复移动梁（1）设置在电沉积槽（2）上；所述的近阴极悬挂梁（3）和远阴极悬挂梁（8）均设置在水平往复移动梁（1）上；所述的近阴极悬挂梁（3）和远阴极悬挂梁（8）相对于水平往复移动梁（1）的距离均可调；所述的限位座（4）可滑动地设置在近阴极悬挂梁（3）和远阴极悬挂梁（8）的下端；所述的近阴极搅拌桨（5）可转动地设置在近阴极悬挂梁（3）下端的限位座（4）上；所述的远阴极搅拌桨（7）设置在远阴极悬挂梁（8）下端的限位座（4）上。

2.根据权利要求1所述的一种用于电沉积的搅拌机构，其特征在于：所述的近阴极搅拌桨（5）的上端与限位座（4）铰接。

3.根据权利要求1所述的一种用于电沉积的搅拌机构，其特征在于：所述的近阴极搅拌桨（5）可绕自身轴线（501）转动-45°~45°。

4.根据权利要求1所述的一种用于电沉积的搅拌机构，其特征在于：所述的近阴极搅拌桨（5）的截面形状为“”形。

5.根据权利要求1所述的一种用于电沉积的搅拌机构，其特征在于：所述的近阴极搅拌桨（5）的数量为3~8个。

6.根据权利要求1所述的一种用于电沉积的搅拌机构，其特征在于：所述的远阴极搅拌桨（7）的数量为2~6个。

7.根据权利要求1所述的一种用于电沉积的搅拌机构，其特征在于：所述的近阴极搅拌桨（5）上沿轴线（501）方向等间隔4mm开设有直径为2mm通孔（502）。

8.根据权利要求1所述的一种用于电沉积的搅拌机构，其特征在于：所述的近阴极搅拌桨（5）和远阴极搅拌桨（7）均为耐化学腐蚀的电绝缘搅拌桨。