[发明专利]图形化蓝宝石衬底的回收方法

权利要求书

1.一种图形化蓝宝石衬底的回收方法，用于从外延报废片上回收图形化蓝宝石衬底(10)， 其特征在于，包括以下步骤：

将带隙能量为3.9～5.9eV的激光从图形化蓝宝石衬底(10)背面射入至外延层(20)， 使得图形化蓝宝石衬底(10)从外延层(20)上剥离，所述外延层(20)包括氮化镓缓 冲层(30)，所述氮化镓缓冲层(30)的带隙能量为3.2～3.4ev，所述图形化蓝宝石衬底(10) 的带隙能量为8.7～8.9eV。

2.根据权利要求1所述的图形化蓝宝石衬底的回收方法，其特征在于，所述激光的波长为 220～280nm。

3.根据权利要求1所述的图形化蓝宝石衬底的回收方法，其特征在于，所述激光垂直照射 在所述图形化蓝宝石衬底(10)上。

4.根据权利要求1所述的图形化蓝宝石衬底的回收方法，其特征在于，所述图形化蓝宝石 衬底的回收方法还包括清洗、干燥所述图形化蓝宝石衬底(10)。

5.根据权利要求4所述的图形化蓝宝石衬底的回收方法，其特征在于，所述图形化蓝宝石 衬底(10)采用湿法腐蚀进行清洗。

6.根据权利要求5所述的图形化蓝宝石衬底的回收方法，其特征在于，所述湿法腐蚀为将 所述图形化蓝宝石衬底(10)浸泡在浓硫酸和双氧水的混合液中。

7.根据权利要求6所述的图形化蓝宝石衬底的回收方法，其特征在于，所述浓硫酸和双氧 水的体积比为2:1～4:1，所述浓硫酸的浓度为93％～98％，所述图形化蓝宝石衬底(10)的 浸泡时间为40～120s。

8.根据权利要求4所述的图形化蓝宝石衬底的回收方法，其特征在于，所述干燥的操作具体 为：

将所述图形化蓝宝石衬底(10)上残留水渍甩干后烘烤。

9.根据权利要求8所述的图形化蓝宝石衬底的回收方法，其特征在于，所述图形化蓝宝石 衬底(10)在500～1000转/分的转速下甩干。

10.根据权利要求8所述的图形化蓝宝石衬底的回收方法，其特征在于，所述图形化蓝宝石 衬底(10)采用带烘烤功能的甩干机进行干燥，干燥阶段的转速为1200～1700转/分、温 度为90～120℃。