[发明专利]增加薄膜粘附力的薄膜制备方法、显示基板及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及显示领域，尤其涉及一种增加薄膜粘附力的薄膜制备方法、显示基板及其制造方法。

背景技术

液晶显示装置中，有机膜通常设置在源漏金属层与第一透明导电层(1STITO)之间，作为隔离膜层，增加面板整体的平坦度并减小耦合电容，但有机膜与衬底粘附力比较弱，在后期测试试验中易出现面板自有机膜位置分离的问题。为增加有机膜粘附力，现有技术一般采用方法如图1所示的方案，在面板边缘开槽，但保留部分条状以支撑盒厚，例如将图中的②④⑥区域的有机膜挖开形成凹槽，③⑤⑦区域的有机膜保留，①为显示区域(AA区域)的边缘；然后，在凹槽处涂覆封框胶，进行对盒，该方案的缺点是有机膜膜层较厚，周边挖槽后会使周边盒厚不均匀，影响显示效果。

发明内容

本发明提供一种增加薄膜粘附力的薄膜制备方法、显示基板及其制造方法，解决了现有液晶显示装置中有机膜粘附力差、盒厚不均匀的问题。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

本发明实施例提供一种增加薄膜粘附力的薄膜制备方法，包括：在衬底材料上形成下宽上窄的沟槽或孔洞，或者直接形成具有所述沟槽或孔洞的衬底材料；在形成有所述沟槽或孔洞的衬底材料上沉积薄膜材料，形成薄膜，所述薄膜的一部分嵌入所述沟槽或孔洞中。

可选地，所述衬底材料包括基底和设置在所述基底上的第一薄膜，所述第一薄膜上设置有所述沟槽或孔洞。

可选地，所述直接形成具有所述沟槽或孔洞的衬底材料，包括：在基底上涂覆光刻胶，通过曝光、显影形成凸起结构，所述突起结构下宽上窄，与所述沟槽或孔洞相对应；在形成有所述突起结构的基底上形成第一薄膜，并通过曝光、显影去除所述突起结构及其上方的第一薄膜，形成所述沟槽或孔洞。

本发明实施例还提供一种显示基板，包括：基底；形成于所述基底上的第一薄膜，所述第一薄膜上设置有下宽上窄的沟槽或孔洞；形成于所述第一薄膜上的第二薄膜，所述第二薄膜的一部分嵌入所述沟槽或孔洞中。

可选地，所述显示基板为阵列基板。

可选地，所述第一薄膜包括栅绝缘膜，所述第二薄膜为有机膜。

可选地，所述沟槽或孔洞位于所述显示基板的周边区域。

本发明实施例还提供一种显示基板的制作方法，包括：在基底上形成栅金属层、栅绝缘层、有源层和源漏金属层，所述栅绝缘层形成有下宽上窄的沟槽或孔洞；形成有机膜，所述有机膜的一部分嵌入所述沟槽或孔洞中；形成第一电极、钝化层和第二电极。

可选地，在基底上形成栅金属层、栅绝缘层、有源层和源漏金属层，所述栅绝缘层形成有下宽上窄的沟槽或孔洞，包括：在基底上形成栅金属层，并通过构图工艺形成栅金属层图形；在形成有栅金属层图形的基底上涂覆光刻胶，并通过曝光、显影形成凸起结构，所述突起结构下宽上窄，与所述沟槽或孔洞相对应；在形成有所述突起结构的基底上形成栅绝缘层，并通过曝光、显影去除所述突起结构及其上方的栅绝缘层薄膜，在所述栅绝缘层上形成所述沟槽或孔洞。

可选地，所述沟槽或孔洞位于所述显示基板的周边区域。

本发明提供一种增加薄膜粘附力的薄膜制备方法、显示基板及其制造方法，衬底材料上存在形成下宽上窄的沟槽或孔洞，然后在其上沉积薄膜材料，形成薄膜的一部分会嵌入上述沟槽或孔洞中，可以增加薄膜粘附力。该种方案用于液晶显示装置中时，可以将有机膜的一部分以镶嵌形式固定到衬底材料(此处指有机膜下方的各膜层)上，可以解决现有液晶显示装置中有机膜粘附力差、盒厚不均匀的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为现有显示基板的平面示意图；

图2为本发明实施例薄膜制备方法的原理示意图；

图3为本发明实施例提供的形成下宽上窄的沟槽或孔洞的方法示意图；

图4为本发明实施例提供的阵列基板的截面结构示意图；

图5为本发明实施例提供的一种沟槽或孔洞的分布位置示意图；

图6为本发明实施例提供的一种阵列基板的工艺流程图；

图7为本发明实施例提供的栅绝缘层上沟槽或孔洞的形成方法示意图。

附图标记

100-衬底材料，111-沟槽，112-孔洞，200-薄膜，101-基底，102-第一薄膜，