[发明专利]铁电膜及其制造方法有效
| 申请号： | 201610173372.3 | 申请日： | 2016-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN106007710B | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 樱井英章;藤井顺;曽山信幸 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/43 | 分类号： | H01L41/43;C04B35/491 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 康泉;王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 铁电膜 及其 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
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