[发明专利]一种阵列式声光调制器及其制作方法

权利要求书

1.一种阵列式声光调制器，其特征在于：包括一声光晶体、多个输入光纤准直器、多个输出光纤准直器和至少一换能器，所述输入光纤准直器设置于声光晶体一侧通光面处，输入光纤准直器输出的光信号经声光晶体一侧通光面进入声光晶体，所述输出光纤准直器设置于声光晶体另一侧通光面处，用于接收经声光晶体衍射后的光信号，所述换能器键合于声光晶体上与两侧通光面相邻的一侧面上。

2.根据权利要求1所述的阵列式声光调制器，其特征在于：所述换能器为一个，所述多个输入光纤准直器和多个输出光纤准直器相对所述换能器排列设置，以使得输入光纤准直器输出的光信号在声光晶体中分别受同一所述换能器发出的超声波作用，并分别耦合至输出光纤准直器中。

3.根据权利要求1所述的阵列式声光调制器，其特征在于：所述换能器为两个或两个以上，所述多个输入光纤准直器和多个输出光纤准直器相对所述换能器阵列设置，以使得输入光纤准直器输出的光信号在声光晶体中分别受同一或不同换能器发出的超声波作用，并分别耦合至输出光纤准直器中。

4.根据权利要求1所述的阵列式声光调制器，其特征在于：所述声光晶体的两侧通光面均设置有增透膜。

5.根据权利要求1所述的阵列式声光调制器，其特征在于：所述声光晶体上与所述换能器设置位置相对的侧面为一斜面，该斜面上胶合有声波吸收材料。

6.根据权利要求1所述的阵列式声光调制器，其特征在于：所述换能器为压电晶体，该压电晶体材料为铌酸锂晶体、钽酸锂晶体、锗酸锂晶体、铌酸钡钠晶体或石英晶体。

7.根据权利要求1所述的阵列式声光调制器，其特征在于：所述换能器由驱动源控制。

8.一种阵列式声光调制器的制作方法，其特征在于：包括如下步骤，

步骤S1：将至少一换能器通过金属或化学键合的方式结合于声光晶体上与通光面相邻的一侧面上，且换能器之间形成间隔；

步骤S2：在换能器表面镀电极，并在换能器设置位置相对的侧面研磨一斜角，以防止换能器发送超声波反射回换能器；

步骤S3：在声光晶体两侧通光面进行研磨抛光，并在通光面上设置增透膜；

步骤S4：在声光晶体一侧通光面设置多个输入光纤准直器，并在声光晶体另一侧通光面相对设置多个输出光纤准直器。

9.根据权利要求8所述的阵列式声光调制器的制作方法，其特征在于：所述斜角上胶合有声波吸收材料，以增加对换能器发出的声波进行吸收。

10.根据权利要求8所述的阵列式声光调制器的制作方法，其特征在于：所述步骤S2中的电极为金膜或铜膜。