[发明专利]一种静电喷雾热解制备薄膜装置

权利要求书

1.一种静电喷雾热解制备薄膜装置，其特征在于，其包括高温炉，静电喷头，传送带，储液罐，储气罐和高压电源。

2.如权利要求1所述的一种静电喷雾热解制备薄膜装置，其特征在于所述的高温炉的两侧开有相同几何形状的方孔。

3.如权利要求1所述的一种静电喷雾热解制备薄膜装置，其特征在于所述的静电喷头安置在两台高温炉的间隔内。

4.如权利要求1所述的一种静电喷雾热解制备薄膜装置，其特征在于所述的传送带通过方孔从高温炉中穿过，实现对工件传送。

5.如权利要求1所述的一种静电喷雾热解制备薄膜装置，其特征在于所述的高压电源与静电喷头连接。