[发明专利]烧结装置及烧结方法有效
申请号: | 201610176855.9 | 申请日: | 2016-03-24 |
公开(公告)号: | CN106007356B | 公开(公告)日: | 2018-09-18 |
发明(设计)人: | 内田一也;乙坂哲也 | 申请(专利权)人: | 信越化学工业株式会社 |
主分类号: | C03B37/018 | 分类号: | C03B37/018 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人: | 江耀纯 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 烧结 装置 方法 | ||
【权利要求书】:
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