[发明专利]一种平面螺旋电磁线圈

权利要求书

1.一种平面螺旋电磁线圈，其特征在于：所述平面螺旋电磁线圈为层状结构，其包括衬底（1）、介质层（2）、石墨烯层（3）、磁芯（4）和绝缘层（5），所述介质层（2）生长在衬底（1）上，所述介质层（2）包括覆盖在衬底（1）上的底介质层（21）和形成在底介质层（21）上的上介质层（22），所述磁芯（4）设置在底介质层（21）上表面上，所述上介质层（22）呈螺旋线形环绕磁芯（4）向外延伸扩展，所述石墨烯层（3）沿上介质层（22）的延伸轨迹叠置在上介质层（22）上，所述上介质层（22）与石墨烯层（3）构成螺旋形的线圈（10），所述线圈（10）的内端部和外端部分别与一金属电极（6）固定连接，所述绝缘层（5）覆盖在所述底介质层（21）上并将磁芯（4）、线圈（10）以及金属电极（6）埋在其内部，所述金属电极（6）立在底介质层（21）上，所述金属电极（6）的上端部露出在绝缘层（5）的上表面。

2.根据权利要求1所述的一种平面螺旋电磁线圈，其特征在于：所述衬底（1）为半导体衬底。

3.根据权利要求1所述的一种平面螺旋电磁线圈，其特征在于：所述介质层（2）由碳化硅、蓝宝石、氮化铝、氮化镓和氧化锌中的任意一种构成。

4.根据权利要求1所述的一种平面螺旋电磁线圈，其特征在于：所述石墨烯层（3）为至少一层的层状石墨烯结构。

5.根据权利要求1所述的一种平面螺旋电磁线圈，其特征在于：所述螺旋形的线圈（10）的线宽为0.1μm-200μm，相邻线圈（10）间的间距为0.1μm-200μm。

6.根据权利要求1所述的一种平面螺旋电磁线圈，其特征在于：所述螺旋形的线圈（10）自内向外的线宽相等或逐渐变宽/变窄。

7.根据权利要求1所述的一种平面螺旋电磁线圈，其特征在于：所述螺旋形的线圈（10）的单圈呈圆形/椭圆形/多边形。

8.根据权利要求1所述的一种平面螺旋电磁线圈，其特征在于：所述磁芯（4）为软磁磁芯，所述磁芯（4）由铁镍合金、铁铝合金、铁钴合金、铁硅合金和氧化铁中的任意一种构成。

9.根据权利要求1所述的一种平面螺旋电磁线圈，其特征在于：所述金属电极（6）至少由金、铂、铝、铜和银中的一种构成。

10.根据权利要求1所述的一种平面螺旋电磁线圈，其特征在于：所述绝缘层（5）由二氧化硅、氮化铝、氧化铝和环氧树脂中的任意一种构成。