[发明专利]测量空间距离变化的激光干涉仪

权利要求书

1.测量空间距离变化的激光干涉仪，包括激光发生器，所述激光发生器发出的光信号首先通过法拉第隔离器，其特征在于，通过所述法拉第隔离器的光信号依次通过第一、第二电光相位调制器，通过所述电光相位调制器的光信号进入模式过滤器，通过所述模式过滤器的光信号进入分光镜组，所述分光镜组将光信号分成若干束，其中一束光信号传输至激光谐振腔，其他光信号经过光电转换后的电信号分别传输至数据采集系统和激光发生器，在激光谐振腔经过谐振的光信号经过光电转换后的电信号传输至所述数据采集系统。

2.如权利要求1所述的测量空间距离变化的激光干涉仪，其特征在于，所述激光发生器发出的光信号波长为1064nm，所述激光谐振腔长度为73.9m。

3.如权利要求1所述的测量空间距离变化的激光干涉仪，其特征在于，所述第一、第二电光相位调制器均被振荡器驱动，所述振荡器频率分别为600kHz和10MHz。

4.如权利要求1所述的测量空间距离变化的激光干涉仪，其特征在于，所述模式过滤器过滤除基模TEM00以外的高阶激光模，过滤之后纯的TEM00模激光进入所述分光镜组。

5.如权利要求1所述的测量空间距离变化的激光干涉仪，其特征在于，从所述分光镜组传输至激光发生器的电信号经过混频器调解后传输至低通滤波器，经过滤波后的电信号传输至高压放大器，经过放大后的电信号再传输至激光发生器。

6.如权利要求5所述的测量空间距离变化的激光干涉仪，其特征在于，所述分光镜组传输至激光发生器的电信号通过混频解调后，把电信号先通过一个前置放大器，经全通放大5倍后，电信号分为两部分，一部分输出给第二个前置放大器，进行二阶低通滤波后，信号放大50倍，经放大的信号反相后输出给第三个前置放大器，称该信号为B；另一部分直接输出给第三个前置放大器，称该信号为A；然后做差运算A-B，对差信号进行一阶低通滤波，信号放大5倍，再把该信号输出给高压放大器。

7.如权利要求1所述的测量空间距离变化的激光干涉仪，其特征在于，从所述模式过滤器引出一束光信号，经过光电转换后传输至混频器，经过混频器调解后的电信号传输至低通滤波器，经过滤波后的电信号传输至高压放大器，经过放大后的电信号再传输至模式过滤器的压电晶体上。

8.如权利要求3所述的测量空间距离变化的激光干涉仪，其特征在于，从所述模式过滤器引出一束光信号，经过光电转换后传输至混频器，经过混频器调解后的电信号传输至振荡器，经过振荡后的电信号再传输至第二电光相位调制器。

9.如权利要求3所述的测量空间距离变化的激光干涉仪，其特征在于，从所述分光镜组传输至激光发生器的光信号经过光电转换后传输至混频器，经过混频器调解后的电信号传输至振荡器，经过振荡后的电信号再传输至高压放大器，经过放大后的电信号再传输至第一电光相位调制器。

10.如权利要求1所述的测量空间距离变化的激光干涉仪，其特征在于，在所述法拉第隔离器的前后光路上均设置有半波片，在第二电光相位调制器后方光路上设置有半波片。