[发明专利]一种有机材料蒸发装置

权利要求书

1.一种有机材料蒸发装置，其特征在于：包括陶瓷封接电极、连接套和蒸发源，所述连接套分别与陶瓷封接电极和蒸发源相密封配接，并且所述陶瓷封接电极的导电柱延伸至所述连接套的内部，

其中，所述蒸发源包括与连接套相接的基座，所述基座背离所述连接套的一侧设置有陶瓷座，所述陶瓷座上设置有坩埚，所述坩埚内绕制有加热丝，所述加热丝的引脚穿过坩埚的底部、陶瓷座及基座与所述陶瓷封接电极的导电柱相导通连接。

2.根据权利要求1所述的一种有机材料蒸发装置，其特征在于：所述蒸发源还包括一防护罩，所述防护罩一侧与所述基座相固接，所述陶瓷座、坩埚均位于所述防护罩的内腔。

3.根据权利要求2所述的一种有机材料蒸发装置，其特征在于：所述防护罩与所述基座之间为螺纹配接。

4.根据权利要求2或3所述的一种有机材料蒸发装置，其特征在于：所述防护罩为圆筒状不锈钢防护罩。

5.根据权利要求1所述的一种有机材料蒸发装置，其特征在于：所述基座上设置有一用于测温的热电偶，所述热电偶的测温端穿过所述陶瓷座与所述坩埚的外表面相抵接，所述热电偶的引脚与所述陶瓷封接电极的导电柱相导通连接。

6.根据权利要求1所述的一种有机材料蒸发装置，其特征在于：所述陶瓷封装电极与连接套之间为焊接，并且陶瓷封装电极与连接套之间设置有密封圈。

7.根据权利要求1所述的一种有机材料蒸发装置，其特征在于：所述坩埚可拆卸插接于所述陶瓷座上。

8.根据权利要求1所述的一种有机材料蒸发装置，其特征在于：所述坩埚至少包括石英坩埚、氧化铝陶瓷坩埚。

9.根据权利要求1或8所述的一种有机材料蒸发装置，其特征在于：所述坩埚内加热丝绕制呈螺旋状。

10.根据权利要求9所述的一种有机材料蒸发装置，其特征在于：所述加热丝为钽丝或坝塔尔合金丝。