[发明专利]一种集成TEM荧光屏和STEM探测器的一体化结构

权利要求书

1.一种集成 TEM 荧光屏和STEM 探测器的一体化结构，其特征在于，包括：具有侧部接口的镜筒和通过所述侧部接口安装在所述镜筒上的调整部件，所述调整部件为滑动机构或翻转机构，所述调整部件的正视面形状为直角梯形，所述调整部件的一部分位于所述镜筒内部；所述调整部件的正视面的上底与位于所述镜筒内部的所述调整部件的正视面的腰之间的夹角为135°；

位于所述镜筒内部的调整部件上集成有TEM 荧光屏和STEM 探测器；所述TEM 荧光屏安装于位于所述镜筒内部的所述调整部件的正视面的腰面上，所述STEM 探测器安装于位于所述镜筒内部的所述调整部件的正视面的上底面上或下底面上。

2.如权利要求1 所述的集成TEM 荧光屏和STEM 探测器的一体化结构，其特征在于，所述滑动机构的正视面为直角的一端位于所述镜筒的外部，所述TEM 荧光屏安装于位于所述镜筒内部的所述滑动机构的正视面的腰面上，所述STEM 探测器安装于位于所述镜筒内部的所述滑动机构的正视面的上底面上。

3.如权利要求1 所述的集成TEM 荧光屏和STEM 探测器的一体化结构，其特征在于，所述翻转机构的正视面为直角的一端位于所述镜筒的外部，所述TEM 荧光屏安装于位于所述镜筒内部的所述翻转机构的正视面的腰面上，所述STEM 探测器安装于位于所述镜筒内部的所述翻转机构的正视面的下底面上。