[发明专利]X射线产生装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种工业用X射线检查装置或医疗用X射线检查装置、或者利用X射线的衍射或折射的各种X射线分析装置或测定装置等中所使用的X射线产生装置，特别是涉及一种在真空容器内使电子碰撞到靶材(target)而产生X射线的类型的X射线产生装置。

背景技术

在真空容器内使电子碰撞到靶材而产生X射线的类型的X射线产生装置，有如下两种：使用向与电子的前进方向不同的方向出射X射线的反射型靶材，及使用向与电子的前进方向大致相同的方向出射X射线的透过型靶材。

这些之中，反射型靶材一般使用块状材料(bulk material)，且与用以将X射线从真空容器出射到外部的X射线照射窗隔开一定程度的距离而配置于容器内侧，与此相对，因透过型靶材通常采用一体地积层形成于X射线照射窗的结构，所以X射线焦点位于X射线照射窗的附近，因此具有能够用于构筑X射线透视像或断层像的装置中，且提高透视扩大率的优点。然而，相反地，因透过型靶材呈薄膜状积层形成于X射线照射窗的单面，所以存在因电子照射引起的热损伤而其寿命缩短的问题。

为了提高这种透过型靶材的寿命，例如后述专利文献1中，为了使靶材面上的电子的照射位置变化，而提出使靶材随意地移动的提案。该专利文献1中揭示了如下技术：在使用开放型的真空容器且具备透过型靶材的X射线产生装置中，经由O型环或真空波纹管(bellows)使靶材移动。

所述提案中将使用橡胶制O型环的情况的构成以示意性剖面图而表示于图8中。即，在所谓的开放透过型的X射线产生装置中，将一体地积层形成着靶材504的X射线照射窗505经由O型环506安装于真空容器501，且在例如相对于来自电子枪502的电子束B的轨道偏心的位置旋转移动，由此使靶材504面上的电子束B的照射位置变化，所述开放透过型的X射线产生装置在真空容器501内收容所谓的电子枪502，所述电子枪502具备电子源及用以使来自该电子源的电子加速及聚集的电极群，且构成为能够利用真空泵503将该真空容器501内随时抽成真空。

然而，在如所述那样使用橡胶制O型环的情况下，因O型环所具有的气体透过性或真空润滑油等的蒸发而真空度会逐渐恶化。因此，在如图8那样利用涡轮分子泵等真空泵一直进行排气的开放型的装置中有效，但无法应用于如图9所示的使用密封的真空容器的X射线产生装置，即密闭型的X射线产生装置中。即，图9所示的密闭型的装置中，一体地积层形成了靶材604的X射线照射窗605如果未利用熔接或焊接气密地固定于收容了电子枪602的真空容器601则无法保持真空度。

这种密闭型的装置中，能够应用经由真空波纹管使真空容器的一部分随靶材或X射线照射窗移动的结构。基于将图10的靶材附近主要部分放大的示意性剖视图来说明使用所述真空波纹管的情况下的构成例。该例中，在收容电子枪(未图示)并固定于装置框架等的真空容器的本体部701的顶部形成贯通孔701a，利用熔接或焊接将真空波纹管702的一端部(下端部)气密地固定于该贯通孔701a的周围，并且将该真空波纹管702的另一端部(上端部)同样地气密固定于形成在移动部703的向下侧开放的凹部703a的周围。

积层形成着靶材704的X射线照射窗705以形成凹部703a的顶部分的方式固定于移动部703。因此，真空容器的本体部701的壁体与真空波纹管702成为将真空容器的内部与外部隔开的壁体，它们的内侧区域V为真空状态，所述真空波纹管702的下端部与该本体部701连通，上端部被X射线照射窗705封闭。

来自电子枪的电子束B从本体部701通过贯通孔701a且经过真空波纹管702内而照射到靶材704。由此，使真空波纹管702弯曲而使移动部703移动，由此能够使电子束B朝向靶材704的照射位置变化。

此处，例如在将此种X射线产生装置用于X射线检查装置等的情况下，如果X射线焦点的空间座标发生变化，则即便在同一部位配置样品，透视区域也会发生变化，此外，需要进行装置系统的各种参数的重新构成或装置构成零件的位置调整等各种重新调整，而欠优选。

因此，图10的构成中，需要将移动部703的移动仅限制在与电子束B的照射方向正交的方向上，换句话说，需要阻止靶材704的向相对于电子枪的接近或离开方向的移动或倾斜。因此，图10中，在本体部701设置引导用的接触构件707等，移动部703一边与接触构件707滑动接触一边移位。

[专利文献]日本专利特开2000-90862号公报

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