[发明专利]使用工艺气体和冷却的表面的带电粒子束处理有效
| 申请号： | 201610189965.9 | 申请日： | 2016-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN106024563B | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | A.马丁;G.麦克克雷迪;M.托思 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 申屠伟进;王传道 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 使用 工艺 气体 冷却 表面 带电 粒子束 处理 | ||
【说明书】：
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