[发明专利]一种可动镜片调整机构有效
申请号: | 201610192951.2 | 申请日: | 2016-03-30 |
公开(公告)号: | CN107290835B | 公开(公告)日: | 2019-08-23 |
发明(设计)人: | 夏洪发;苏同克 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G02B7/02 | 分类号: | G02B7/02;G03F7/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 镜片 调整 机构 | ||
1.一种可动镜片调整机构,其特征在于,包括镜片单元和用于支撑并固定所述镜片单元的柔性镜座,所述柔性镜座用于调整所述镜片单元在垂直于镜面所在平面的方向上的位置;其中,所述柔性镜座包括刚性构件、设于所述刚性构件上的驱动机构和铰链结构,所述铰链结构为由所述刚性构件开槽形成若干支点和杠杆互连的对称结构,所述驱动机构带动刚性构件和铰链结构运动,从而带动镜片单元沿轴向运动;所述支点设有两个,所述刚性构件中相对的两条侧边上设有第一开槽和第二开槽,所述第一开槽和第二开槽分别对应第一支点和第二支点,两个所述支点构成两个柔性运动副。
2.根据权利要求1所述的可动镜片调整机构,其特征在于,所述镜片单元包括一方形镜片或圆形镜片。
3.根据权利要求1所述的可动镜片调整机构,其特征在于,所述第一支点位于所述刚性构件的侧边的中部,所述第二支点设于所述刚性构件的侧边的其中一端。
4.根据权利要求3所述的可动镜片调整机构,其特征在于,所述杠杆包括第一杠件、第二杠件和第三杆件,所述第一杠件和第二杠件之间通过所述第一支点连接,所述第二杠件与第三杆件之间通过所述第二支点连接,所述第一杠件、第二杠件、第三杆件构成双摇杆柔性铰链机构,所述镜片单元固设于所述第三杆件上。
5.根据权利要求4所述的可动镜片调整机构,其特征在于,所述第一杠件、第二杠件和第三杆件均采用刚性材料制成。
6.根据权利要求4所述的可动镜片调整机构,其特征在于,所述第二杠件设于所述第一杠件上方,所述第二杠件上设有与所述第三杆件相适配的第一通孔,所述第三杆件设于所述第一通孔内,所述第三杆件上设有与所述镜片单元相适配的第二通孔,所述镜片单元固设于所述第二通孔内。
7.根据权利要求4所述的可动镜片调整机构,其特征在于,所述驱动机构包括第一驱动电机和第二驱动电机,所述第一驱动电机和第二驱动电机分别设于所述第二杠件和第三杆件上远离所述第二支点的一端,所述第一驱动电机和第二驱动电机的底部均与所述第一杠件连接,所述第一驱动电机驱动第二杠件使第二支点绕第一支点旋转,带动第二支点沿垂直于镜面所在平面的方向上运动,所述第二驱动电机驱动第三杆件沿垂直于镜面所在平面的方向上运动使镜片单元由倾斜状态变为水平状态。
8.根据权利要求7所述的可动镜片调整机构,其特征在于,所述第二杠件和第三杆件上分别设有若干底部与第一杠件连接的弹性预紧单元,所述弹性预紧单元的位置与所述第一驱动电机和第二驱动电机的位置相对应。
9.根据权利要求8所述的可动镜片调整机构,其特征在于,所述第二杠件和第三杆件上的弹性预紧单元分别设有两个,分设于所述第一驱动电机或第二驱动电机的两侧。
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