[发明专利]光刻机系统和运动台直线电机定子自动复位装置和方法

权利要求书

1.一种光刻机系统，从上至下包括

一照明系统，用于提供曝光光源；

一掩膜台，用于放置掩膜版；

一内部框架，内部从上至下依次包括用于收集所述照明系统提供的照明光的一投影物镜和用于承载基板的一工作台；

一减振器；

一地基，用于承载所述光刻机系统；

其特征在于，还包括一反力外引框架；所述工作台固定在运动台上并由所述运动台带动作平面运动，所述运动台由若干个直线电机驱动，所述直线电机上设置有运动台电机定子自动复位装置；

其中，所述反力外引框架由若干个支撑架构成，所述支撑架一端固定于所述地基上，另一端固定在所述直线电机上，将所述直线电机的振动传递到所述地基；

所述电机定子自动复位装置包括：

一复位到位传感器，与直线电机定子的原始位置对应，用于检测所述电机定子的实时位置；

一位移检测传感装置，固定于所述电机定子上，用于检测所述电机定子相对于所述原始位置的位移；

一复位执行元件，与所述电机定子连接，用于使所述电机定子复位至所述原始位置；

一控制系统，用于接收所述复位到位传感器和所述位移检测传感装置的检测数据，并且根据所述检测数据，对所述复位执行元件发送信号，使所述复位执行元件将所述电机定子复位至所述原始位置。

2.如权利要求1所述的光刻机系统，其特征在于，具有两个所述直线电机，两个所述直线电机长度方向相互平行，以所述直线电机的长度方向为X向，在同一个平面上，以垂直于所述直线电机长度方向的方向为Y向，两个所述直线电机上设置有X向导轨，两个所述直线电机之间固定有Y向导轨，所述运动台由两个运动台板组成，每个所述直线电机的动子固定一个所述运动台板，所述动子带动所述运动台板在X向移动。

3.如权利要求1所述的光刻机系统，其特征在于，还包括一解耦结构，一端连接于所述复位执行元件上，另一端通过连接板固定在所述支撑架上。

4.如权利要求3所述的光刻机系统，其特征在于，所述解耦结构为叠层橡胶。

5.如权利要求1所述的光刻机系统，其特征在于，在所述支撑架与所述直线电机之间还安装有力缓冲元件。

6.如权利要求5所述的光刻机系统，其特征在于，所述力缓冲元件为阻尼器。

7.如权利要求6所述的光刻机系统，其特征在于，所述力缓冲元件为弹簧。

8.如权利要求1所述的光刻机系统，其特征在于，所述复位执行元件为驱动电机。

9.如权利要求1所述的光刻机系统，其特征在于，所述复位到位传感器为光电传感器。

10.如权利要求1所述的光刻机系统，其特征在于，所述位移检测传感装置为光栅尺。