[发明专利]一种镜片的调整装置及调整方法

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路制造装备领域，具体涉及一种镜片的调整装置及调整方法。

背景技术

在光学系统中通常设有多个镜片，随着光学系统的精度要求越来越高，对于镜片与镜片之间的相对位置要求也越来越高，因此在安装过程中通常要对偏心、倾斜和空气间隔等参数进行严格限定，一般情况下镜片间的偏心、倾斜、空气间隔要求无法通过直接安装来保证，需通过调整的形式实现。此外，光学系统对于稳定性要求也越来越高，所以对于工作中不需要运动的光学镜片，安装时通常采用刚性固定，而对于镜片与镜片之间的偏心、倾斜、空气间隔等参数只能通过修磨隔圈来实现。

如图1所示为现有通过修磨隔圈进行补偿的镜组结构图，包括第一镜片1’、第二镜片2’、第一压圈3’、第二压圈4’、第一镜座5’、第二镜座6’、隔圈7’、螺钉8’，通过修磨隔圈7’来实现第二镜片2’相对第一镜片1’的偏心、倾斜、空气间隔等参数的调整。然而该种技术存在以下不足：一是通过修磨隔圈7’的方式需对第二镜片2’进行反复拆装，增加了安装过程中的风险；二是隔圈7’需要通过研磨的方式实现，而且每个隔圈7’都需要耗费较长的时间，延长了镜组的装调周期。

发明内容

本发明提供了一种镜片的调整装置及调整方法，以解决现有技术中存在的 风险大、拆装麻烦和周期长的问题。

为了解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种镜片的调整装置，包括：

第一镜座，用于固定第一镜片，所述第一镜座的上表面设有倾斜角度；

第二镜座，用于固定第二镜片，所述第一镜座设于所述第二镜座上；

倾斜调整模块，设于所述第二镜座下方，且位于所述第一镜座上方，包括至少一个中部设有通孔的垫圈，所述垫圈的上表面和下表面均设有倾斜角度，所述垫圈相对所述第一镜座沿圆周旋转，以调整第二镜片相对第一镜片的倾斜角度；

空气间隔调整模块，包括设于所述第二镜座下表面的若干凸台和设于所述倾斜调整模块上表面且位置与所述凸台对应的若干阶梯，每个所述阶梯包括若干高度不同的台阶，所述第二镜座相对所述倾斜调整模块旋转，使所述凸台与不同高度的台阶对应，实现空气间隔调整

偏心调整模块，设于所述第一镜座或第二镜座上，带动所述第一镜座或第二镜座水平移动，实现偏心调整。

进一步的，所述垫圈设有两个，分别为第一垫圈和第二垫圈，所述第一垫圈的上表面和下表面均具有倾斜角度，所述第一垫圈的上表面和下表面的倾斜角呈空间上垂直分布，所述第二垫圈的上表面和下表面均设有倾斜角度，所述第二垫圈的上表面和下表面的倾斜角的空间夹角为45°，所述第一垫圈和第二垫圈相对所述第一镜座沿圆周旋转以调整第二镜片相对第一镜片的倾斜角度。

进一步的，所述第一垫圈的外周设有第一手柄，所述第一手柄带动所述第一垫圈相对所述第一镜座沿圆周旋转，所述第二垫圈的外周设有第二手柄，所述第二手柄带动所述第二垫圈相对所述第一镜座沿圆周旋转。

进一步的，所述凸台设有三个，沿所述第二镜座的下表面均匀分布，所述阶梯也设有三个，位置与所述凸台相对应。

进一步的，所述偏心调整模块包括顶丝，所述顶丝设于所述第一镜座或第 二镜座的外周，带动所述第一镜座或第二镜座平移，使所述第一镜片和第二镜片的光轴重合。

进一步的，所述第一镜片与所述第一镜座之间设有第一压圈，所述第二镜片与所述第二镜座之间设有第二压圈。

进一步的，所述第一镜座通过第一螺钉固设于所述第二镜座上，所述第一镜座和垫圈靠近边缘的一侧均设有贯穿上下表面的螺孔，所述第一螺钉由下至上穿设于所述螺孔中，上端伸至所述第二镜座内。

进一步的，所述第一镜座和第二镜座分别与所述倾斜调整模块通过第二螺钉连接。

本发明还提供一种镜片的调整装置的调整方法，包括以下步骤：

S1：将第一镜片固定于第一镜座上，将第二镜片固定于第二镜座上；

S2：由下至上依次连接所述第一镜座、倾斜调整模块和第二镜座，且保证所述第一镜座、倾斜调整模块和第二镜座两两之间的相对位置可调；

S3：沿圆周旋转倾斜调整模块中的垫圈，调整第二镜片相对第一镜片的倾斜角度；

S4：沿圆周旋转空气间隔调整模块中第二镜座下表面的凸台，使所述凸台与倾斜调整模块上表面阶梯中不同高度的台阶对应，进行空气间隔调整；

S5：通过偏心调整模块带动所述第一镜座或第二镜座平移，进行偏心调整；

S6：对第一镜座、第二镜座和倾斜调整模块的相对位置进行固定。