[发明专利]运动台测量系统、方法以及运动台

权利要求书

1.一种运动台测量系统，其特征在于，包括：安装在运动台粗动电机两端的加速度传感器、与所述加速度传感器连接的信号调理模块、与所述信号调理模块连接的控制模块以及与所述控制模块连接的电机驱动模块，其中，所述加速度传感器为三向正交振动的加速度传感器。

2.如权利要求1所述的运动台测量系统，其特征在于，所述信号调理模块包括：依次连接的硬件电路、放大器、滤波器和差分输出电路，其中，所述硬件电路的输入端连接至所述加速度传感器的输出端，所述差分输出电路的输出端连接至所述控制模块。

3.如权利要求2所述的运动台测量系统，其特征在于，所述硬件电路包括：第一、第二电阻、第一并联电容和第二并联电容，其中，所述第一电阻的一端为第一输入端，另一端与第一并联电容的一端连接；所述第二电阻的一端为第二输入端，另一端与所述第二并联电容的一端连接，所述第一、第二并联电容的另一端共端且为所述硬件电路的输出端。

4.如权利要求3所述的运动台测量系统，其特征在于，所述第一、第二并联电容均包括三组并联设置的电容器。

5.如权利要求1所述的运动台测量系统，其特征在于，所述控制模块采用可编程自动化控制器，所述可编程自动化控制器通过分布式运动控制系统连接至电机驱动模块。

6.如权利要求1所述的运动台测量系统，其特征在于，所述滤波器采用双运放滤波器。

7.一种运动台，包括：用以承载硅片或掩模板的微动台和用于驱动所述微动台的粗动台，所述粗动台包括两并列设置的粗动导轨和位于两粗动导轨上的粗动电机，其特征在于，所述粗动电机上设置有如权利要求1～6任意一项所述的运动台测量系统。

8.一种运动台测量方法，应用于如权利要求1～6任意一项所述的运动台测量系统中，其特征在于，采用两组加速度传感器同时测量粗动电机在X、Y、Z向的加速度，信号调理模块对测得的加速度数值进行分别处理，控制模块根据处理结果控制电机驱动模块，进而调节粗动电机。

9.如权利要求8所述的运动台测量方法，其特征在于，加速度传感器对粗动电机测量之前，还包括：设定运动台的阈值，并利用仿真软件计算粗动电机水平向和垂向的加速度阈值。

10.如权利要求9所述的运动台测量方法，其特征在于，所述加速度阈值包括：加速度的实际输出值的阈值和该实际输出值的阈值在一阶和二阶的时域和频域上的积分项。

11.如权利要求10所述的运动台测量方法，其特征在于，当处理结果超出所述加速度阈值时，所述控制模块控制所述电机驱动模块，从而使粗动电机运动中止。

12.如权利要求8所述的运动台测量方法，其特征在于，所述信号调理模块对测得的水平向和垂向的加速度数值进行分别处理步骤包括：对两个加速度传感器测得的该方向上的两个数值进行加权平均，对加权平均的结果进行放大和滤波，最后将结果差分输出至控制模块。