[发明专利]用于曝光机的UV-LED混合波长光源系统在审
申请号: | 201610194248.5 | 申请日: | 2016-03-30 |
公开(公告)号: | CN105629680A | 公开(公告)日: | 2016-06-01 |
发明(设计)人: | 张文明;汤正光 | 申请(专利权)人: | 昆山尊宸电子有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 曝光 uv led 混合 波长 光源 系统 | ||
1.一种用于曝光机的UV-LED混合波长光源系统,其特征在于: 包括玻璃管、UV-LED灯板、旋转机构、导电机构、冷却机构、和安 装支撑座,所述冷却机构与所述旋转机构通过齿轮传动连接,所述 安装支撑座为两个且分别位于所述冷却机构的两侧,所述冷却机构 转动定位在所述安装支撑座中,所述UV-LED灯板固定在所述冷却机 构上,所述玻璃管通过两个玻璃管固定套固定连接在所述冷却机构 上,所述玻璃管罩设住所述UV-LED灯板,所述导电机构固定安装在 所述冷却机构上,所述导电机构位于所述安装支撑座中,所述导电 机构与所述UV-LED灯板电性连接。
2.根据权利要求1所述的用于曝光机的UV-LED混合波长光源系 统,其特征在于:所述冷却机构包括冷却主轴管、进水管和出水管, 所述进水管和出水管固定连接在所述冷却主轴管的两端并与所述冷 却主轴管连通,还包括进水接头和出水接头,所述进水接头和所述 出水接头分别固定连接在所述进水管和出水管的端部。
3.根据权利要求2所述的用于曝光机的UV-LED混合波长光源系 统,其特征在于:所述两个玻璃管固定套分别固定套设在所述冷却 主轴管与所述进水管和出水管的衔接处,所述玻璃管的两端分别固 定连接在所述两个玻璃管固定套上。
4.根据权利要求3所述的用于曝光机的UV-LED混合波长光源系 统,其特征在于:所述旋转机构包括电动马达、固定板、第一滚珠 轴承和第一、二齿轮,所述电动马达固定在所述固定板上,所述第 一齿轮固定套设在所述电动马达的转轴上,所述第二齿轮固定套设 在所述进水管上,所述第一、二齿轮相互啮合,所述固定板的中间 开设有通孔,所述第一滚珠轴承固定在所述通孔中,所述进水管的 头部转动穿设在所述第一滚珠轴承中。
5.根据权利要求4所述的用于曝光机的UV-LED混合波长光源系 统,其特征在于:所述UV-LED灯板包括若干电路板和若干UV-LED 芯片组,所述UV-LED芯片组均匀间隔固定在所述电路板上,所述电 路板为长方形,所述电路板相互柔性连接并固定环绕在所述冷却主 轴管的表面上。
6.根据权利要求5所述的用于曝光机的UV-LED混合波长光源系 统,其特征在于:所述导电机构包括两个导电环,所述两个导分别 固定套设在所述进水管和出水管上,所述导电环与所述UV-LED灯板 电性连接。
7.根据权利要求6所述的用于曝光机的UV-LED混合波长光源 系统,其特征在于:所述安装支撑座中设有供所述导电环放置的定 位孔,所述安装支撑座中固定有第二滚动轴承,所述第二滚动轴承 位于所述导电环远离所述玻璃管固定套的一侧,所述进水管和出水 管分别转动穿设在所述第二滚动轴承中,所述进水管和出水管穿出 均所述安装支撑座。
8.根据权利要求7所述的用于曝光机的UV-LED混合波长光源系 统,其特征在于:所述冷却主轴管为六边形管,所述进水管和出水 管均为圆形管,所述冷却主轴与所述进水管和出水管一体成型。
9.根据权利要求8所述的用于曝光机的UV-LED混合波长光源系 统,其特征在于:所述UV-LED芯片组的包含五种波长范围,分别为: 365-370nm、380-390nm、390-410nm、420-430nm、430-450nm。
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