[发明专利]一种光刻机投影物镜的调平装置及调平方法

权利要求书

1.一种光刻机投影物镜的调平装置，包括工作台、用于支撑所述工作台的吊框，以及用于支撑所述吊框的吊框支架、设于所述吊框支架上方的安装基板、设于所述安装基板上的物镜框架、安装于所述物镜框架上的光电测量系统和至少一个投影物镜，其特征在于，还包括与所述物镜框架表面连接的传感器测量系统、设于所述安装基板上且与所述物镜框架连接的主动阻尼器、设于所述主动阻尼器下方的垂向调整机构、以及分别与所述传感器测量系统、主动阻尼器和垂向调整机构电联接的控制器。

2.根据权利要求1所述的光刻机投影物镜的调平装置，其特征在于，所述传感器测量系统的上下两端分别与所述物镜框架的下表面和所述吊框上表面连接。

3.根据权利要求1所述的光刻机投影物镜的调平装置，其特征在于，所述投影物镜设有两个，两个所述投影物镜之间设有空隙，所述光电测量系统的位置与所述空隙相对应。

4.根据权利要求1所述的光刻机投影物镜的调平装置，其特征在于，所述主动阻尼器包括若干柔性块和支撑所述柔性块的第一支撑板，所述第一支撑板位于所述垂向调整机构的上方，所述柔性块的一侧与所述物镜框架连接。

5.根据权利要求4所述的光刻机投影物镜的调平装置，其特征在于，所述柔性块内设有压电陶瓷，所述压电陶瓷与控制器连接。

6.根据权利要求5所述的光刻机投影物镜的调平装置，其特征在于，所述柔性块设有三个，三个所述柔性块分设在所述物镜框架的其中两条对边上。

7.根据权利要求6所述的光刻机投影物镜的调平装置，其特征在于，设在所述物镜框架的同一条边上的两个柔性块呈倒“八”字设置，且与所述物镜框架相应边的夹角均为45°，设在所述物镜框架另一条边上的柔性块与物镜框架相应边的夹角为0°。

8.根据权利要求4所述的光刻机投影物镜的调平装置，其特征在于，所述垂向调整机构包括第一楔形块、设于所述第一楔形块上方且与所述第一楔形块相适配第二楔形块以及与所述第一楔形块的一侧连接的传动装置，所述第二楔形块设于所述第一支撑板下方，且与所述第一支撑板固定连接。

9.根据权利要求8所述的光刻机投影物镜的调平装置，其特征在于，所述垂向调整机构还包括设于所述第一楔形块和安装基板之间的第二支撑板、设于所述第二支撑板上方且位置与所述传动装置对应的第一挡块、设于所述第一支撑板下方且位置与所述第二楔形块对应的第二挡块，所述第二支撑板上设有支撑所述第一支撑板的弹性支撑件。

10.根据权利要求9所述的光刻机投影物镜的调平装置，其特征在于，所述第一挡块和所述第二挡块的外周包覆有聚氨酯。

11.根据权利要求9所述的光刻机投影物镜的调平装置，其特征在于，所述弹性支撑件包括若干弹簧。

12.根据权利要求11所述的光刻机投影物镜的调平装置，其特征在于，所述弹簧设有4个，均匀分布于所述第一楔形块的外周。

13.根据权利要求9所述的光刻机投影物镜的调平装置，其特征在于，所述第一楔形块内设有至少一个第一竖向通孔，所述第二楔形块内设有与所述第一竖向通孔相适配的第二竖向通孔，所述第一竖向通孔和第二竖向通孔内设有外径小于所述第一竖向通孔和第二竖向通孔内径的定位销，所述定位销的底部固设于所述第二支撑板上。

14.根据权利要求13所述的光刻机投影物镜的调平装置，其特征在于，所述定位销的外周包覆有聚氨酯。

15.根据权利要求13所述的光刻机投影物镜的调平装置，其特征在于，所述第一竖向通孔和第二竖向通孔的横截面均为腰形。