[发明专利]形成布线图案的方法和用于形成布线图案的蚀刻装置有效
| 申请号： | 201610195708.6 | 申请日： | 2016-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN106061124B | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 佐藤祐规;平冈基记;柳本博;臼井弘树 | 申请（专利权）人： | 丰田自动车株式会社 |
| 主分类号： | H05K3/07 | 分类号： | H05K3/07;H05K3/06 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 贺月娇;杨晓光 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 形成 布线 图案 方法 用于 蚀刻 装置 | ||
【权利要求书】：
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