[发明专利]一种分子泵机组预抽真空及分子泵检漏仪集成系统

权利要求书

1.一种分子泵机组预抽真空及分子泵检漏仪集成系统，其特征在于：包括真空室，所述真空室通过管道连接产品真空阀，所述产品真空阀通过管道连接高真空挡板阀，所述高真空挡板阀通过管道连接高真空电磁，所述高真空电磁通过管道连接分子泵，所述分子泵通过管道连接手动挡板阀，所述手动挡板阀通过管道连接电磁充气阀，所述电磁充气阀连接前级旋片泵，所述分子泵与所述手动挡板阀之间的管道通过管道连接检漏阀，所述检漏阀通过管道连接检漏仪；所述分子泵与所述手动挡板阀之间的管道通过管道连接旁路预抽挡板阀，所述旁路预抽挡板阀通过管道连接所述高真空挡板阀与所述高真空电磁阀之间的管道。

2.根据权利要求1所述的分子泵机组预抽真空及分子泵检漏仪集成系统，其特征在于：所述产品真空阀与所述高真空挡板阀之间的管道上连接有第二电离规和第三电阻规。

3.根据权利要求1所述的分子泵机组预抽真空及分子泵检漏仪集成系统，其特征在于：所述分子泵与所述手动挡板阀之间的管道上安装有第一电阻规。

4.根据权利要求1所述的分子泵机组预抽真空及分子泵检漏仪集成系统，其特征在于：所述分子泵与所述高真空电磁阀之间的管道上安装有第一电离规和第二电阻规。

5.根据权利要求1所述的分子泵机组预抽真空及分子泵检漏仪集成系统，其特征在于：所述真空室还连接有真空规管。

6.根据权利要求1所述的分子泵机组预抽真空及分子泵检漏仪集成系统，其特征在于：所述管道均为金属波纹软管。

7.根据权利要求6所述的分子泵机组预抽真空及分子泵检漏仪集成系统，其特征在于：所述金属波纹软管的材质为304不锈钢。

8.根据权利要求1所述的分子泵机组预抽真空及分子泵检漏仪集成系统，其特征在于：所述真空室与所述产品真空阀为法兰连接，连接法兰为CF50真空法兰。

9.根据权利要求1所述的分子泵机组预抽真空及分子泵检漏仪集成系统，其特征在于：所述分子泵为涡轮分子泵。