[发明专利]一种柔性抛光垫

权利要求书

1.一种柔性抛光垫，其特征在于：所述的抛光垫由耐高温柔性纤维垫、超硬复合陶瓷薄片和柔性树脂组成，其中超硬复合陶瓷薄片附着在耐高温柔性纤维垫上，柔性树脂渗透在纤维垫和超硬复合陶瓷薄片的缝隙和孔洞中，所述的抛光垫的制备方法如下：

（一）制备超硬复合陶瓷：所述的超硬复合陶瓷包括浆料和粘接剂，浆料由磨料和陶瓷粘结剂组成；所述的磨料以超硬材料为主要原料，成分配比及粒度如下：

超硬材料3～60 wt%，粉体粒度0.5～26 um；

所述的陶瓷粘结剂以高岭土、石英砂、硼砂、氢氧化锂、氧化锌、氧化铁、氧化铜、萤石的混合粉体为主要原料，各成分配比及粒度如下，

高岭土1～3 wt%，粉体粒度0.1～2 um；

石英砂 10～40 wt%，粉体粒度1～10 um；

硼砂15～20 wt%，粉体粒度1～10 um；

氢氧化锂5～15 wt%，粉体粒度1～20 um；

萤石10～35 wt%，粉体粒度1～10 um；

氧化铜 3～5 wt%，粉体粒度1～10 um；

氧化锌 3～5 wt%，粉体粒度1～10 um；

氧化铁 3～5 wt%，粉体粒度1～10 um；

按上述配方将各组分充分混合搅拌均匀，再按陶瓷粘结剂与磨料的混合物40～60份，去离子水40～60份，粘接剂1～5份的比例混合搅拌1-2小时，制备成超硬复合陶瓷浆料；

（二）制备柔性纤维垫-超硬复合陶瓷薄片复合体：将步骤（一）中所述的超硬复合陶瓷浆料均匀涂覆到耐高温柔性纤维垫的表面，然后干燥；将干燥后的坯体放入真空烧结炉中，抽真空至5～20 Pa，在200～300 ℃条件下加热20～40分钟，再升温至600～900 ℃，保温2～3小时，再自然冷却至室温，使超硬复合陶瓷薄片在纤维垫表面原位烧结；

（三）成型抛光垫：原位烧结后，再用柔性树脂浸润耐高温柔性纤维垫-超硬复合陶瓷薄片复合体，使树脂填充到陶瓷薄片的裂纹和孔洞以及纤维编织体中，再使树脂固化，最后将超硬复合陶瓷薄片表面的树脂去除，使超硬复合陶瓷薄片的表面露出，即可获得柔性抛光垫。

2.根据权利要求1所述的一种柔性抛光垫，其特征在于：所述的超硬材料为单晶金刚石、多晶金刚石、碳化硼、立方氮化硼、碳化硅、白刚玉、棕刚玉中的一种或多种。

3.根据权利要求1所述的一种柔性抛光垫，其特征在于：所述耐高温柔性纤维垫为碳纤维、玻璃纤维、石棉中的一种或几种编织体，厚度为0.1～3mm。

4.根据权利要求1所述的一种柔性抛光垫，其特征在于：所述柔性树脂为环氧树脂、聚氨酯、硅胶树脂、聚丙烯、聚乙烯、聚对苯二甲酸乙二酯、聚乙二醇、固体石蜡、聚氯乙烯的一种或多种。

5.根据权利要求1所述的一种柔性抛光垫，其特征在于：所述粘接剂为偶联剂，或聚丙烯酸,或聚丙烯酸与聚丙烯酸盐的混合物，或偶联剂与聚丙烯酸的混合物,或偶联剂与聚丙烯酸、聚丙烯酸盐的混合物。