[发明专利]一种用于激光微加工的组合透镜

权利要求书

1.一种用于激光微加工的组合透镜，包括光线从物方到像方依次排列在同一光轴上的第一、第二以及第三透镜，其中第一透镜为双凸聚焦镜，第二透镜为平凹聚焦镜，第三透镜为平面镜，其特征在于：平凹聚焦镜相对光轴旋转形成夹角，夹角的大小以及双凸聚焦镜、平凹聚焦镜和平面镜之间的设置间距为当采用准直镜入射激光的波长是1064nm时，其组合透镜焦距是50mm。

2.如权利要求1所述的组合透镜，其特征在于：双凸聚焦镜包括第一凸面及第二凸面，平凹聚焦镜包括凹面及平面，平面透镜包括第一平面及第二平面。

3.如权利要求2所述的组合透镜，其特征在于：平凹聚焦镜的平面对应第一平面设置，而第二凸面对应凹面设置。

4.如权利要求3所述的组合透镜，其特征在于：双凸聚焦镜为对称球面镜，凹面为凹进球面。

5.如权利要求4所述的组合透镜，其特征在于：组合透镜在不同膜系中应用不同超短脉冲激光波长的加工。

6.如权利要求5所述的组合透镜，其特征在于：组合透镜的聚焦光束为艾里光束(Airy beam)。