[发明专利]抗蚀剂组合物及抗蚀图案的制造方法有效
| 申请号： | 201610200291.8 | 申请日： | 2016-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN106019833B | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 杉原昌子;中西润次;西村崇 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 杜娟 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 图案 制造 方法 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于住友化学株式会社，未经住友化学株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201610200291.8/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
