[发明专利]一种微机电多值存储器件有效
申请号: | 201610200300.3 | 申请日: | 2016-03-31 |
公开(公告)号: | CN105825886B | 公开(公告)日: | 2018-06-01 |
发明(设计)人: | 万能 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | G11C13/00 | 分类号: | G11C13/00 |
代理公司: | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人: | 杨晓玲 |
地址: | 211189 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电极 石墨烯 多值存储器件 硅衬底 微机电 抗干扰能力 金属电极 绝缘连接 悬空设置 灵敏度 硅支撑 器端部 区分度 能耗 | ||
【说明书】:
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