[发明专利]一种带机械限位结构的掩模台

权利要求书

1.一种带机械限位结构的掩模台，其特征在于，包括粗动模块、微动模块和限位保护件，所述粗动模块包括粗动滑块，所述微动模块包括承版台，所述限位保护件的两侧分别连接所述粗动滑块和承版台，其特征在于，所述限位保护件包括限位块、限位销、导向座和弹性元件，所述限位块与所述限位销相对的一侧上设有凹槽，所述限位销一端设有与所述凹槽相适配的凸起，所述限位销的另一端与所述弹性元件连接，所述限位销可在所述导向座内弹性运动，使所述凸起可滑入所述凹槽或从所述凹槽内滑出。

2.根据权利要求1所述的带机械限位结构的掩模台，其特征在于，所述凹槽沿粗动行程方向的内壁呈斜面结构。

3.根据权利要求2所述的带机械限位结构的掩模台，其特征在于，所述限位块与从所述凹槽内滑出或滑入所述凹槽内的限位销接触时的接触面均为斜面，所述接触面的倾斜方向与所述凹槽内壁的倾斜方向相反。

4.根据权利要求1所述的带机械限位结构的掩模台，其特征在于，所述限位块远离所述限位销的一端与所述粗动滑块连接，所述限位销通过所述导向座与所述承版台连接。

5.根据权利要求1所述的带机械限位结构的掩模台，其特征在于，所述限位块远离所述限位销的一端与所述承版台连接，所述限位销通过所述导向座与所述粗动滑块连接。

6.根据权利要求1所述的带机械限位结构的掩模台，其特征在于，所述弹性元件远离所述限位销的一端与所述导向座连接，为所述限位销提供预紧力。

7.根据权利要求3所述的带机械限位结构的掩模台，其特征在于，所述弹性元件远离所述限位销的一端与所述承版台连接，为所述限位销提供预紧力。

8.根据权利要求4所述的带机械限位结构的掩模台，其特征在于，所述弹性元件远离所述限位销的一端与所述粗动滑块连接，为所述限位销提供预紧力。

9.根据权利要求1所述的带机械限位结构的掩模台，其特征在于，所述弹性元件为限位弹簧。

10.根据权利要求1所述的带机械限位结构的掩模台，其特征在于，所述导向座内设有分别与所述限位销和弹性元件相适配的第一空腔和第二空腔，所述弹性元件限位于所述第二空腔内，所述限位销穿过所述第一空腔后与所述弹性元件连接。

11.根据权利要求10所述的带机械限位结构的掩模台，其特征在于，所述限位销与所述弹性元件连接的一侧的外径大于所述第一空腔的内径。

12.根据权利要求9所述的带机械限位结构的掩模台，其特征在于，所述导向座与所述限位销之间设有直线轴承。

13.根据权利要求12所述的带机械限位结构的掩模台，其特征在于，所述直线轴承套设于所述限位销的外周，且限位于所述第一空腔内，所述直线轴承远离所述弹性元件一侧的外径大于所述第一空腔的内径。

14.根据权利要求1所述的带机械限位结构的掩模台，其特征在于，所述限位销的凸起采用缓冲材料制成。

15.根据权利要求1所述的带机械限位结构的掩模台，其特征在于，所述限位销的凸起上设有滚动轴承。

16.根据权利要求15所述的带机械限位结构的掩模台，其特征在于，所述滚动轴承采用缓冲材料制成。

17.根据权利要求14或16所述的带机械限位结构的掩模台，其特征在于，所述缓冲材料为橡胶。

18.根据权利要求1所述的带机械限位结构的掩模台，其特征在于，还包括设于粗动行程和微动行程两端的缓冲器。