[发明专利]一种用于膜厚测量的定位装置

说明书

技术领域

本发明涉及镀膜元件膜层厚度修正测量时的定位技术，特别是涉及一种用于膜厚测量的定位装置。

背景技术

在大口径元件镀膜时，由于口径较大，不能够保证膜厚的均匀性，需要利用均匀性修正挡板对膜厚进行调整，在膜厚修正的过程中需要测量不同位置的膜层厚度。由于膜厚测量仪不具备定位功能，在大口径镀膜元件膜厚测量时，不能够实现对不同位置膜层厚度的测量。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，针对现有的膜厚测量仪不具备定位功能，在大口径镀膜元件膜厚测量时，不能够实现对不同位置膜层厚度的测量的缺陷，提供一种用于膜厚测量的定位装置。

本发明上述技术问题所采用的技术方案如下：

提供一种用于膜厚测量的定位装置，包括中间开口的元件支撑基座、下底板支撑基座、支撑连接在所述元件支撑基座与下底板支撑基座之间的支撑金属柱、固定设置在所述下底板支撑基座上的支撑台、旋转连接在所述支撑台上的精密旋转台、固定在所述精密旋转台上的精密平移台、滑动设置在所述精密平移台上的滑动台面及插在所述滑动台面上的激光笔。

根据本发明的用于膜厚测量的定位装置，通过调节精密旋转台可以定位不同角度，实现极角的功能，通过调节精密平移台可以定位不同半径的位置，实现极轴的功能，利用激光笔的光线照射在元件表面形成一个光斑，将光斑与膜厚测量仪的测量探头对准，即可实现测量位置的定位。该定位装置具有精密旋转台和精密平移台，因为可以实现对任意位置的精准定位，满足在膜厚调整中，对膜厚测量的定位要求，并且实现容易、操作简单。

附图说明

图1是本发明一实施例提供的一种用于膜厚测量的定位装置的结构示意图。

其中：1、元件支撑基座；2、下底板支撑基座；3、支撑金属柱；4、支撑台；5、精密旋转台；6、精密平移台；7，滑动台面；8、激光笔。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步阐述。

参见图1，本发明一实施提供的用于膜厚测量的定位装置，包括中间开口的元件支撑基座1、下底板支撑基座2、支撑连接在所述元件支撑基座1与下底板支撑基座2之间的支撑金属柱3、固定设置在所述下底板支撑基座2上的支撑台4、旋转连接在所述支撑台4上的精密旋转台5、固定在所述精密旋转台5上的精密平移台6、滑动设置在所述精密平移台6上的滑动台面7及插在所述滑动台面7上的激光笔8。

本实施例中，所述元件支撑基座1的中间开口的边缘处形成有用于放置镀膜元件或者镀膜夹具的环形凹槽9。

本实施例中，所述下底板支撑基座2中间设置有用于固定所述支撑台4的固定孔位。

本实施例中，下底板支撑基座2通过四根支撑金属柱3与元件支撑基座1固定相连。四根所述支撑金属柱3沿圆周方向均匀排布在所述元件支撑基座1与下底板支撑基座2之间，即相邻两根所述支撑金属柱3间隔90度。

本实施例中，支撑台4用于连接精密旋转台5，精密旋转台5能够相对支撑台4旋转。精密旋转台5上具有指示不同的定位角度的角度刻度，可以调节精密旋转台5不同的定位角度。另外，所述精密旋转台5具有用于将精密旋转台5固定在某一角度上的旋转锁死机构(图中未标示)，即精密旋转台5具有角度锁死功能。

本实施例中，精密平移台6具有用于指示不同定位半径的线性刻度，可以根据测量需求，定位不同的半径。另外，所述精密平移台6具有用于将滑动台面7固定在某一半径上的平移锁死机构。

锁死精密平移台6时，通过旋转精密旋转台5，可以测量同一半径下不同的角度，实现同一半径下不同极角的测量定位；当然，锁死旋转精密旋转台5时，通过调节精密平移台6，可以测量同一极角下的不同半径的定位测量。从而，实现了不同极角，不同半径(极轴)的连续定位。

本实施例中，如图1所示，所述滑动台面7上设置有位于所述滑动台面7正中心的中间孔位，所述激光笔8插入所述中间孔位。激光笔8的光线可以照射在镀膜元件表面形成一个小的光斑，在利用膜厚测量仪测量膜厚时，将测量探头与光斑位置对准，调节精密旋转台5和精密平移台6就实现了对镀膜元件不同位置的膜厚测量。

本实施例中，所述激光笔8照射在镀膜元件上的光斑大小与膜厚测量仪的测量探头匹配。例如，膜厚测量仪的测量探头是一个直径3mm的光纤头，激光笔8的光线照射在镀膜元件表面时形成一个直径为3mm的光斑。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而这些属于本发明的精神所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之中。