[发明专利]一种显影设备和显影方法

说明书

技术领域

本发明涉及液晶显示领域，尤其涉及一种显影设备和显影方法。

背景技术

众所周知，液晶显示器具有功耗低、体积小、重量轻、超薄屏等许多其他 显示器无法比拟的优点，近年来被广泛应用于单片机控制的智能仪器、仪表和 低功耗电子产品中。

如图1所示，目前的显影设备在对液晶显示器的基板进行显影时，包括有 以下工艺过程：将基板3放置于承载平台1上，承载平台1带动基板3与水平 面呈预设倾斜角，采用显影机的多个喷嘴2对基板3喷洒显影液，进而对基板 3进行显影。

如图1所示，目前的显影设备在对液晶显示器的基板进行显影时，包括有 以下工艺过程：将基板3以预设倾斜角θ放置于承载平台1上，采用显影机的 多个喷嘴2对基板3喷洒显影液，进而对基板3进行显影。然而，在目前的显 影过程中，多种因素均会造成基板3不同位置接触到的显影液量不均匀，例如， 喷洒于倾斜的基板3上方的显影液会沿着基板3向下流到基板3下方，下方的 基板3在接触到上方的喷嘴2喷洒的显影液的同时还会接触到上方流下的显影 液；又例如，与基板3不同区域对应的喷嘴2在喷洒显影液时，由于各个喷嘴 2距基板3高度的不同会导致其各自喷洒的显影液在基板3的覆盖范围大小不 同(如图1中所示，S6>S5>…>S2>S1)，即，喷嘴对基板不同位置处喷洒的显 影液的密度不同(S1处的密度最大，S6处的密度最小)；又例如，相邻两个喷 嘴喷洒至基板3上的显影液的范围有交叠区域。因此，现在技术的显影设备在 用于显影工艺时，会造成基板3不同区域接触到的显影液的量不均匀，从而使 基板3在显影后形成的图案的图形线宽均一性较差。

发明内容

本发明的目的是提供一种显影设备和显影方法，以改善目前显影设备用于 对基板进行显影工艺时，基板显影后形成的图案的图形线宽均一性较差的问 题。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

本发明实施例提供一种显影设备，包括承载平台和多个喷嘴，所述承载平 台用于承载基板并使所述基板的第一延展方向与水平面呈预定夹角，各个所述 喷嘴在所述承载平台上方并排排列且距水平面的高度相同，各个所述喷嘴的排 列方向与所述第一延展方向在水平面的垂直投影平行，所述喷嘴用于以实心锥 模式将显影液喷洒于所述基板上，各所述喷嘴喷洒显影液的发散角可调，以控 制相邻两个所述喷嘴喷洒的显影液落于所述基板上的交叠区域的面积。

本发明实施例有益效果如下：显影设备具有能够调控发散角的喷嘴，通 过对喷嘴喷洒显影液的发散角的调整可以控制相邻两个喷嘴喷洒的显影液落 于基板上的交叠区域的面积大小，以使基板各个区域接触到的显影液的量基本 均匀，进而能够提高基板在显影后形成的图案的图形线宽的均一性。

优选的，所述喷嘴具有大小可调的出液口，所述喷嘴喷洒显影液的发散角 与所述出液口的开口大小成正比。

优选的，所述出液口设置有多个相互部分重叠的叶片组成的相机光圈结 构，所述喷嘴通过所述叶片的转动来改变中心孔径进而以调整所述出液口的开 口大小。

优选的，所述喷嘴包括本体和开口调整部，所述开口调整部为两个固定挡 板和两个转动挡板围设形成的上下开口的框状结构，所述开口调整部的横截面 图形为矩形；

两个所述固定挡板平行设置且二者的一端均与所述本体固定连接，两个所 述转动挡板具有连接端和转动端，所述转动挡板的连接端与所述本体活动连 接，所述转动挡板的转动端能够围绕所述转动挡板的连接端转动；

各个所述喷嘴的所述固定档板与该些所述喷嘴在所述承载平台上方的排 列方向平行，所述喷嘴通过所述转动挡板的转动端的转动调整所述出液口的大 小。

优选的，所述显影设备还包括传输管道，所述传输管道用于向所述喷嘴输 送显影液；

各个所述喷嘴与同一条所述传输管道连通；或者，

各个所述喷嘴分别与不同所述传输管道一一对应连通。

优选的，所述显影设备还包括电连接的监测部件和流量调节部件；

所述监测部件，用于监测所述喷嘴喷洒显影液的当前发散角并发送给所述 流量调节部件；

所述流量调节部件，用于根据所述当前发散角与预定发散角的比例关系， 调节所述传输管道向所述喷嘴输送显影液的流量。