[发明专利]一种高效彩色多晶太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种高效彩色多晶太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤，

1)对多晶硅片进行硝酸银催化制绒，硝酸银催化制绒的具体步骤包括，

将硅片置于浓度为1.0-2.5mol/L的AgNO₃溶液中，通过AgNO₃溶液在硅片上电化学沉积Ag纳米颗粒，再采用质量比为2.0:1-4.5:1的H₂O₂和HF的混合溶液刻蚀该带有Ag纳米粒的硅片，待硅片上形成高低差为1-5μm的绒面，再采用质量比为1:1-2:1的HCL和H₂O₂的混合溶液去除硅片上的Ag颗粒；

2)在硅片正面进行高方阻磷扩散；

3)去除所述磷扩散形成的正面磷硅玻璃和周边PN结；

4)采用管式扩散炉对硅片进行氧化，管式扩散炉的工作条件为，扩散温度为800-850℃，氧化时间为10-30min，在硅片表面生长厚度为25-60nm的二氧化硅；

5)采用PECVD镀膜在硅片正面形成厚度为20-55nm的单层彩色氮化硅膜，所述氮化硅膜的折射率为1.85-2.0，在PECVD镀膜时，采用流量比为3.5:1-7.5:1的氨气和硅烷的混合工艺气体,沉积时间为5-15min；

6)在硅片背面印刷背电极和铝背场；

7)在硅片正面印刷正电极浆料形成正电极；

8)对硅片进行烧结形成彩色多晶太阳能电池。

2.一种利用权利要求1所述制备方法制得高效彩色多晶太阳能电池。