[发明专利]一种用于工艺设备的监测装置及其方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于工艺设备的监测装置及其方法，尤指一种可整合多设备数据的工艺设备监测装置及其方法。

背景技术

无论是电子、医药、食品、纺织、化学、材料等产品或领域的制造，皆会使用大量的工艺设备生产产品。各项设备的正常运作，是确保产品合格率和产能的重要因素之一，故一般会在工艺设备安装多种检测器来监测工艺的各项参数。

举例来说，高温炉是广泛用于化学、材料以及半导体工厂的生产流程。以炉具的监测来说，例如中国大陆实用新型专利CN203629703，提出一种炉台温度监控装置，包括一测温元件，该测温元件设置为能够放置在炉台内的结构，该测温元件与一显示炉台内的温度数值的温度记录仪连接，该温度记录仪与一按设定时间间歇性记录炉台内的温度数值的电脑连接。或如美国发明专利公开第US 2010/0208765号，公开一种炉具阻尼控制系统，包括一炉具、一检测器以及一控制器，该炉具具有至少一让该炉具内的电磁辐射可被检测的开口、一用于接收自该炉具排出的废气的排气管以及一用于调整该排气管压力的可控阻尼，该检测器用于检测经由该开口发射的电磁辐射且产生一对应电磁辐射的检测信号，该控制器用于根据该检测信号控制该阻尼。

又一般来说，工厂往往购置有多台工艺设备，且会因购置时间的差异、不同需求、工艺考量或其他因素，而使多台工艺设备的规格、厂商、介面等也为不同。当欲针对不同工艺设备的工艺数据进一步做分析整合时，往往需要进行大规模的汰换工艺设备，或是针对各台工艺设备进行硬件和软件方面的调整及更新，如此不仅提高成本，也会造成工艺停摆，实有待改进之处。

发明内容

本发明的目的，在于解决现有多台工艺设备的工艺数据难以整合的问题。

为实现上述目的，本发明提供一种用于工艺设备的监测装置，是针对一具有一第一检测单元及一与该第一检测单元连接的第一显示单元的第一工艺设备以及一具有一第二检测单元及一与该第二检测单元连接的第二显示单元的第二工艺设备进行监测，该第一检测单元和该第二检测单元分别检测该第一工艺设备和该第二工艺设备的至少一第一工艺条件和至少一第二工艺条件，并分别显示于该第一显示单元和该第二显示单元，该监测装置包含一第一影像撷取单元、一第二影像撷取单元及一数据处理器，该第一影像撷取单元用于撷取显示于该第一显示单元上且与该第一工艺条件相对应的一第一信息画面，该第二影像撷取单元用于撷取显示于该第二显示单元上且与该第二工艺条件相对应的一第二信息画面，该数据处理器与该第一影像撷取单元及该第二影像撷取单元连接，为接受该第一信息画面及该第二信息画面并进行一影像辨识处理使该第一信息画面及该第二信息画面分别转换为一第一工艺参数以及一第二工艺参数并予以整合。

为实现上述目的，本发明另外提供一种用于工艺设备的监测方法，是针对一具有一第一检测单元及一与该第一检测单元连接的第一显示单元的第一工艺设备以及一具有一第二检测单元及一与该第二检测单元连接的第二显示单元的第二工艺设备进行监测，该第一检测单元和该第二检测单元分别检测该第一工艺设备和该第二工艺设备的至少一第一工艺条件和至少一第二工艺条件，并分别显示于该第一显示单元和该第二显示单元，该监测方法包含下列步骤：

提供一第一影像撷取单元，用于撷取显示于该第一显示单元上且与该第一工艺条件相对应的一第一信息画面；

提供一第二影像撷取单元，用于撷取显示于该第二显示单元上且与该第二工艺条件相对应的一第二信息画面；以及

提供一与该第一影像撷取单元及该第二影像撷取单元连接的数据处理器，为接受该第一影像撷取单元及该第二影像撷取单元撷取的该第一信息画面及该第二信息画面并进行一影像辨识处理使该第一信息画面及该第二信息画面分别转换为一第一工艺参数以及一第二工艺参数并予以整合。

由以上可知，本发明相较于现有技术可实现的有益效果在于，由于是直接通过该第一影像撷取单元及该第二影像撷取单元分别撷取该第一显示单元及 该第二显示单元所显示的该第一信息画面及该第二信息画面，并通过该数据处理器的该影像辨识处理使该第一信息画面及该第二信息画面分别转换为该第一工艺参数以及该第二工艺参数并予以整合，并非现有技术须大规模的汰换工艺设备或是针对各台工艺设备进行硬件和软件方面的调整及更新，故可减少额外的设备购置成本，也不会造成工艺的停摆。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1，为本发明第一实施例用于工艺设备的监测装置的示意图；