[发明专利]一种修复设备及修复方法

权利要求书

1.一种修复设备，用于对目标基板上未能正常设置隔垫物的缺陷区域进行修复，其特征在于，所述修复设备包括：

存储装置，用于存储液态的修复剂；

转换装置，用于向所述存储装置获取液态的修复剂，并将该获取到的液态的修复剂转换为半固态的修复剂；

涂覆装置，用于将所述半固态的修复剂，按照隔垫物的形状涂覆在所述缺陷区域上；

所述涂覆装置包括：

处理模块，用于确定半固态的修复剂的涂覆参数；

涂覆模块，用于按照所述涂覆参数，涂覆半固态的修复剂。

2.根据权利要求1所述的修复设备，其特征在于，

所述处理模块包括：

识别单元，用于定位所述目标基板的缺陷区域；

第一处理单元，用于根据该定位到的缺陷区域，确定涂覆模块涂覆半固态的修复剂的坐标。

3.根据权利要求2所述的修复设备，其特征在于，

所述识别单元包括：

图像获取子单元，用于获取目标基板的图像；

图像对比子单元，用于将所述目标基板的图像与标准基板的图像进行对比，从而定位出所述目标基板的缺陷区域，所述标准基板的隔垫物为正常设置。

4.根据权利要求1所述的修复设备，其特征在于，

所述涂覆模块具有涂覆针头，并通过该涂覆针头涂覆半固态的修复剂；

所述处理模块还包括：

第二处理单元，用于根据隔垫物的尺寸，确定所述涂覆针头涂覆半固态的修复剂的剂量。

5.根据权利要求1所述的修复设备，其特征在于，

所述涂覆装置具有多个涂覆针头，每个涂覆针头对应有不同的口径；

所述处理模块还包括：

第三处理单元，用于根据隔垫物的尺寸，确定所述涂覆模块在涂覆半固态的修复剂时所使用的涂覆针头；其中，所述涂覆模块所使用的涂覆针头的口径与隔垫物的尺寸相匹配。

6.根据权利要求5所述的修复设备，其特征在于，

所述涂覆模块还包括：

主体结构和电动机；

其中，每个涂覆针头均设置在所述主体结构上，并呈一个平面；所述电动机用于驱动所述主体结构旋转，以使所述涂覆模块在涂覆过程中，将需要使用的涂覆针头垂直指向所述缺陷区域；其中，所述电动机的旋转轴线与所述缺陷区域平行，并垂直于所有涂覆针头所属的平面。

7.根据权利要求6所述的修复设备，其特征在于，还包括：

所述涂覆装置还包括：

暂存箱，用于存放所述转换装置的半固化的修复剂；

其中，每个涂覆针头均通过不同的传输管路与所述暂存箱连接。

8.根据权利要求1所述的修复设备，其特征在于，还包括：

清洗箱以及清洗控制装置；

所述清洗箱用于存放清洗液；

所述清洗控制装置用于，控制清洗箱向所述存储装置和/或转换装置和/或涂覆模块输送清洗液。

9.根据权利要求4所述的修复设备，其特征在于，还包括：

清洗托盘，存放有清洗液；

传送装置，用于将所述涂覆针头浸泡在所述清洗托盘中的清洗液中，以进行清洗。

10.根据权利要求9所述的修复设备，其特征在于，还包括：

回收装置，通过回收管路与所述清洗托盘连接，用于回收所述清洗托盘的清洗液。

11.一种修复方法，应用于如权利要求1-10任一项所述修复设备，其特征在于，包括：

将液态的修复剂转换为半固态的修复剂；

将所述半固态的修复剂，按照隔垫物的形状涂覆在所述缺陷区域上。