[发明专利]用于沟槽功率MOSFET的自对准接头有效
申请号: | 201610215555.7 | 申请日: | 2016-04-08 |
公开(公告)号: | CN106057895B | 公开(公告)日: | 2019-03-19 |
发明(设计)人: | 薛宏勇;雷燮光;黄士彰;林靖凯;李文军;杨易昌;邓觉为 | 申请(专利权)人: | 万国半导体股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L21/336 |
代理公司: | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人: | 张静洁;徐雯琼 |
地址: | 美国加利福尼亚9408*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 沟槽 功率 mosfet 对准 接头 | ||
【说明书】:
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