[发明专利]一种基于凝胶作用固定大高宽比微纳结构的方法有效

专利信息
申请号: 201610218534.0 申请日: 2016-04-07
公开(公告)号: CN105800546B 公开(公告)日: 2017-05-31
发明(设计)人: 刘刚;陈楠;熊瑛;张晓波;田扬超;陆亚林 申请(专利权)人: 中国科学技术大学
主分类号: B81C1/00 分类号: B81C1/00;B81C99/00
代理公司: 北京科迪生专利代理有限责任公司11251 代理人: 成金玉,孟卜娟
地址: 230026 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 凝胶 作用 固定 大高宽 结构 方法
【权利要求书】:

1.一种基于凝胶作用固定大高宽比微纳结构的方法,其特征在于实现步骤如下:

(1)配置好热溶胶,质量浓度为0.1%~2.0%,热溶胶温度为50~95℃;

(2)将热溶胶添加于微纳结构上,改变温度形成凝胶层,并通过旋涂控制凝胶层的厚度及平整度,将大高宽比微纳结构固定在凝胶层中;

(3)对已固定的大高宽比微纳结构进行检测或添加夹具;

(4)将检测过的样品置于热水浴中,去除微纳结构上的凝胶;

所述步骤(2)中改变温度为凝胶化温度<40℃;

所述旋涂工艺控制凝胶层的厚度及平整度的过程为:滴加热溶胶于微纳结构上,将整个结构完全覆盖均匀,先将样品置于甩胶台上冷却,再按照设置好的甩胶参数进行旋涂,即1000至3000转/分钟、旋涂20秒至1分钟,完成后静置一段时间,使结构间的热溶胶充分转化为凝胶,形成所需厚度及平整度的凝胶层。

2.根据权利要求1所述的一种基于凝胶作用固定大高宽比微纳结构的方法,其特征在于:所述热溶胶为结冷胶、琼脂和卡拉胶。

3.根据权利要求1所述的一种基于凝胶作用固定大高宽比微纳结构的方法,其特征在于:所述步骤(4)中的热水浴的温度是50~95℃。

4.根据权利要求1所述的一种基于凝胶作用固定大高宽比微纳结构的方法,其特征在于:所述冷却时间为20秒至2分钟。

5.根据权利要求1所述的一种基于凝胶作用固定大高宽比微纳结构的方法,其特征在于:所述静置时间20秒至2分钟。

6.一种基于凝胶作用固定大高宽比微纳结构的方法,其特征在于实现步骤如下:

(1)配置好热溶胶,质量浓度为0.1%~2.0%,热溶胶温度为50~95℃;

(2)将热溶胶添加于微纳结构上,改变温度形成凝胶层,并通过提拉工艺控制凝胶层的厚度及平整度,将大高宽比微纳结构固定在凝胶层中;

(3)对已固定的大高宽比微纳结构进行检测或添加夹具;

(4)将检测过的样品置于热水浴中,去除微纳结构上的凝胶;

所述步骤(2)中改变温度为凝胶化温度<40℃;

所述提拉工艺控制凝胶层的厚度及平整度的过程为:把样品浸入溶液即热溶胶中,将浸渍后的样品以一定速度垂直提拉起来,水平静置一段时间,使结构间的热溶胶充分转化为凝胶,形成所需厚度及平整度的凝胶层。

7.根据权利要求6所述的一种基于凝胶作用固定大高宽比微纳结构的方法,其特征在于:所述一定速度为小于等于10mm/s。

8.根据权利要求6所述的一种基于凝胶作用固定大高宽比微纳结构的方法,其特征在于:所述静置一段时间为1-10分钟。

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