[发明专利]一种基于MEMS工艺的二维薄膜气体流量传感器及其加工方法在审
| 申请号： | 201610218958.7 | 申请日： | 2016-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN105806430A | 公开（公告）日： | 2016-07-27 |
| 发明（设计）人： | 夏敦柱;徐磊 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01F1/684 | 分类号： | G01F1/684;G01F1/692;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 唐红 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 工艺 二维 薄膜 气体 流量传感器 及其 加工 方法 | ||
【权利要求书】：
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