[发明专利]一种高精度表面形貌测量仪在审
申请号: | 201610221104.4 | 申请日: | 2016-04-08 |
公开(公告)号: | CN105674937A | 公开(公告)日: | 2016-06-15 |
发明(设计)人: | 何绍木;张新华 | 申请(专利权)人: | 绍兴文理学院 |
主分类号: | G01B21/20 | 分类号: | G01B21/20;G01B11/24 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 312000 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高精度 表面 形貌 测量仪 | ||
1.一种高精度表面形貌测量仪,包括基座(1)、安装在所述基座(1)上的花岗岩立柱(2)、活动安装在所述花岗岩立柱(2)上的升降装置(3)、安装在升降装置(3)上的横向驱动箱(9)和安装在所述花岗岩立柱(2)顶部的纵向传动箱(4),所述横向驱动箱(9)上安装有传感器连接座(91),其特征在于:所述基座(1)上安装有固定座(7),所述固定座(7)上安装有花岗岩立柱(2),所述花岗岩立柱(2)的两侧竖直安装有第一滚珠丝杠(6)和第二滚珠丝杠(61),所述升降装置(3)均与第一滚珠丝杠(6)以及第二滚珠丝杠(61)活动相连;所述升降装置(3)的上底面上镶嵌安装有第一距离传感器(92),所述升降装置(3)的下底面上镶嵌安装有第二位距离感器(93),所述纵向传动箱(4)的底面和固定座(7)的顶面上均安装有反光机构(83)。
2.根据权利要求1所述的一种高精度表面形貌测量仪,其特征在于:所述花岗岩立柱(2)内开设有安装槽(21),所述安装槽(21)内安装有电机(5),所述纵向传动箱(4)内安装有电机连接板(41),所述电机连接板(41)与电机(5)固定相连,所述电机(5)的转轴(51)延伸安装在纵向传动箱(4)内,且所述转轴(51)上安装有第一传动齿轮(62),所述第一传动齿轮(62)两侧的纵向传动箱(4)内安装有第一丝杠固定座(42)和第二丝杠固定座(43);所述花岗岩立柱(2)两侧的固定座(7)内分别安装有第一丝杠支撑座(71)和第二丝杠支撑座(72),所述第一滚珠丝杠(6)穿过升降装置(3),且所述第一滚珠丝杠(6)的上端与第一丝杠固定座(42)相连,所述第一滚珠丝杠(6)的下端与第一丝杠支撑座(71)相连;所述第二滚珠丝杠(61)也穿过升降装置(3),且所述第二滚珠丝杠(61)的上端与第二丝杠固定座(43)相连,所述第二滚珠丝杠(61)的下端与第二丝杠支撑座(72)相连;所述第一滚珠丝杠(6)位于纵向传动箱(4)内的一端上安装有第二传动齿轮(63),所述第二传动齿轮(63)与第一传动齿轮(62)啮合;所述第二滚珠丝杠(61)位于纵向传动箱(4)内的一端上安装有第三传动齿轮(64),所述第三传动齿轮(64)也与第一传动齿轮(62)啮合。
3.根据权利要求2所述的一种高精度表面形貌测量仪,其特征在于:所述花岗岩立柱(2)的四周安装有钢板(8),所述钢板(8)内镶嵌安装有聚四氟乙烯垫片(81)。
4.根据权利要求2所述的一种高精度表面形貌测量仪,其特征在于:所述升降装置(3)内安装有第一螺母连接块(31)和第二螺母连接块(32),所述第一螺母连接块(31)上固定安装有第一丝杠螺母(33),所述第一丝杠螺母(33)与第一滚珠丝杠(6)啮合相连;所述第二螺母连接块(32)上固定安装有第二丝杠螺母(34),所述第二丝杠螺母(34)与第二滚珠丝杠(61)啮合相连。
5.根据权利要求2所述的一种高精度表面形貌测量仪,其特征在于:所述安装槽(21)的内壁上安装有卡块(22),所述卡块(22)与电机(5)卡接相连。
6.根据权利要求2所述的一种高精度表面形貌测量仪,其特征在于:所述升降装置(3)的上底面和下底面上均安装有缓冲垫(38)。
7.根据权利要求2所述的一种高精度表面形貌测量仪,其特征在于:所述第一传动齿轮(62)上安装有润滑油导管(66),所述润滑油导管(66)延伸到纵向传动箱(4)外,且所述润滑油导管(66)位于纵向传动箱(4)外的一端上安装有密封盖(67)。
8.根据权利要求1所述的一种高精度表面形貌测量仪,其特征在于:所述基座(1)上开设有固定卡槽(11)。
9.根据权利要求1所述的一种高精度表面形貌测量仪,其特征在于:所述基座(1)的两侧开设有钢制的螺纹固定孔(12)。
10.根据权利要求1所述的一种高精度表面形貌测量仪,其特征在于:所述反光机构(83)为反光板或反光纸。
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