[发明专利]一种高精度表面形貌测量仪

权利要求书

1.一种高精度表面形貌测量仪，包括基座（1）、安装在所述基座（1）上的花岗岩立柱（2）、活动安装在所述花岗岩立柱（2）上的升降装置（3）、安装在升降装置（3）上的横向驱动箱（9）和安装在所述花岗岩立柱（2）顶部的纵向传动箱（4），所述横向驱动箱（9）上安装有传感器连接座（91），其特征在于：所述基座（1）上安装有固定座（7），所述固定座（7）上安装有花岗岩立柱（2），所述花岗岩立柱（2）的两侧竖直安装有第一滚珠丝杠（6）和第二滚珠丝杠（61），所述升降装置（3）均与第一滚珠丝杠（6）以及第二滚珠丝杠（61）活动相连；所述升降装置（3）的上底面上镶嵌安装有第一距离传感器（92），所述升降装置（3）的下底面上镶嵌安装有第二位距离感器（93），所述纵向传动箱（4）的底面和固定座（7）的顶面上均安装有反光机构（83）。

2.根据权利要求1所述的一种高精度表面形貌测量仪，其特征在于：所述花岗岩立柱（2）内开设有安装槽（21），所述安装槽（21）内安装有电机（5），所述纵向传动箱（4）内安装有电机连接板（41），所述电机连接板（41）与电机（5）固定相连，所述电机（5）的转轴（51）延伸安装在纵向传动箱（4）内，且所述转轴（51）上安装有第一传动齿轮（62），所述第一传动齿轮（62）两侧的纵向传动箱（4）内安装有第一丝杠固定座（42）和第二丝杠固定座（43）；所述花岗岩立柱（2）两侧的固定座（7）内分别安装有第一丝杠支撑座（71）和第二丝杠支撑座（72），所述第一滚珠丝杠（6）穿过升降装置（3），且所述第一滚珠丝杠（6）的上端与第一丝杠固定座（42）相连，所述第一滚珠丝杠（6）的下端与第一丝杠支撑座（71）相连；所述第二滚珠丝杠（61）也穿过升降装置（3），且所述第二滚珠丝杠（61）的上端与第二丝杠固定座（43）相连，所述第二滚珠丝杠（61）的下端与第二丝杠支撑座（72）相连；所述第一滚珠丝杠（6）位于纵向传动箱（4）内的一端上安装有第二传动齿轮（63），所述第二传动齿轮（63）与第一传动齿轮（62）啮合；所述第二滚珠丝杠（61）位于纵向传动箱（4）内的一端上安装有第三传动齿轮（64），所述第三传动齿轮（64）也与第一传动齿轮（62）啮合。

3.根据权利要求2所述的一种高精度表面形貌测量仪，其特征在于：所述花岗岩立柱（2）的四周安装有钢板（8），所述钢板（8）内镶嵌安装有聚四氟乙烯垫片（81）。

4.根据权利要求2所述的一种高精度表面形貌测量仪，其特征在于：所述升降装置（3）内安装有第一螺母连接块（31）和第二螺母连接块（32），所述第一螺母连接块（31）上固定安装有第一丝杠螺母（33），所述第一丝杠螺母（33）与第一滚珠丝杠（6）啮合相连；所述第二螺母连接块（32）上固定安装有第二丝杠螺母（34），所述第二丝杠螺母（34）与第二滚珠丝杠（61）啮合相连。

5.根据权利要求2所述的一种高精度表面形貌测量仪，其特征在于：所述安装槽（21）的内壁上安装有卡块（22），所述卡块（22）与电机（5）卡接相连。

6.根据权利要求2所述的一种高精度表面形貌测量仪，其特征在于：所述升降装置（3）的上底面和下底面上均安装有缓冲垫（38）。

7.根据权利要求2所述的一种高精度表面形貌测量仪，其特征在于：所述第一传动齿轮（62）上安装有润滑油导管（66），所述润滑油导管（66）延伸到纵向传动箱（4）外，且所述润滑油导管（66）位于纵向传动箱（4）外的一端上安装有密封盖（67）。

8.根据权利要求1所述的一种高精度表面形貌测量仪，其特征在于：所述基座（1）上开设有固定卡槽（11）。

9.根据权利要求1所述的一种高精度表面形貌测量仪，其特征在于：所述基座（1）的两侧开设有钢制的螺纹固定孔（12）。

10.根据权利要求1所述的一种高精度表面形貌测量仪，其特征在于：所述反光机构（83）为反光板或反光纸。