[发明专利]机械卡盘

权利要求书

1.一种机械卡盘，包括用于承载晶片的基座以及卡环组件，所述卡环组件包括卡环、绝缘环和遮挡环，其中，所述卡环用于固定所述晶片；所述绝缘环设置在所述卡环上，用于支撑所述遮挡环，所述遮挡环用于遮挡所述卡环的上表面，其特征在于，所述卡环包括环状本体，所述环状本体采用绝缘材料制作；并且，在所述环状本体的内周壁上设置有压紧部，用以压住所述晶片上表面的边缘区域；所述压紧部采用金属材料制作，以减小所述遮挡环与所述卡环之间金属的相对面积。

2.根据权利要求1所述的机械卡盘，其特征在于，所述压紧部包括多个压爪，所述多个压爪沿所述环状本体的周向间隔分布。

3.根据权利要求2所述的机械卡盘，其特征在于，在每个所述压爪的内侧设置有凸部，所述凸部的下表面与所述晶片上表面之间具有间隙，用以遮挡所述压爪与所述晶片的接触位置。

4.根据权利要求1所述的机械卡盘，其特征在于，所述压紧部包括一个闭合的环体，所述环体嵌套在所述环状本体的内周壁上。

5.根据权利要求4所述的机械卡盘，其特征在于，在所述环体的内侧设置有环形凸部，所述环形凸部的下表面与所述晶片上表面之间具有间隙，用以遮挡所述环体与所述晶片的接触位置。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的机械卡盘，其特征在于，在所述卡环的上表面设置有环形凹槽，所述绝缘环的下部内嵌在所述环形凹槽中。

7.根据权利要求1-5任意一项所述的机械卡盘，其特征在于，所述绝缘环叠置在所述卡环的上表面。

8.根据权利要求1-5任意一项所述的机械卡盘，其特征在于，所述卡环具有配重部，用以增大所述卡环的重量，使之足以实现对所述晶片的固定。

9.根据权利要求8所述的机械卡盘，其特征在于，所述配重部设置在所述环状本体的底部，或者内嵌在所述环状本体中。

10.根据权利要求8所述的机械卡盘，其特征在于，所述配重部为闭合的环体，或者由多个分体组成。