[发明专利]一种蒸镀载板及蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀载板，其特征在于，所述蒸镀载板包括载板和降粘部，所述降粘部中的至少部分设置在所述载板上，有机发光二极管OLED基板通过敏感胶固定在所述载板的一侧表面上，所述降粘部用于在蒸镀完成后降低所述敏感胶的粘性。

2.根据权利要求1所述的蒸镀载板，其特征在于，所述敏感胶为光敏胶或热敏胶。

3.根据权利要求2所述的蒸镀载板，其特征在于，所述敏感胶为热敏胶，所述降粘部包括冷却管道和低温流体供应部，所述冷却管道设置在所述载板上，且所述冷却管道的位置与所述载板上涂热敏胶的位置对应；

蒸镀完成后，所述低温流体供应部通过其输出端与所述冷却管道的输入端连通，通过其输入端与所述冷却管道的输出端连通，所述低温流体供应部用于向所述冷却管道提供低温流体。

4.根据权利要求3所述的蒸镀载板，其特征在于，所述降粘部还包括第一单向阀和第二单向阀，所述第一单向阀设置在所述低温流体供应部的输出端与所述冷却管道的输入端之间，所述第二单向阀设置在所述低温流体供应部的输入端与所述冷却管道的输出端之间。

5.根据权利要求4所述的蒸镀载板，其特征在于，所述降粘部还包括第一流量调节阀和第二流量调节阀，所述第一流量调节阀设置在所述第一单向阀和所述冷却管道的输入端之间，所述第二流量调节阀设置在所述冷却管道的输出端与所述第二单向阀之间。

6.根据权利要求3所述的蒸镀载板，其特征在于，所述载板内部设有空腔，所述冷却管道设置在所述空腔内。

7.根据权利要求3所述的蒸镀载板，其特征在于，所述载板背离所述OLED基板的一侧表面上设有凹槽，所述凹槽的位置与所述载板上涂有热敏胶的位置对应，所述冷却管道安装在所述凹槽内。

8.根据权利要求3所述的蒸镀载板，其特征在于，所述低温流体为冷却水、低温乙醇或液态氮。

9.根据权利要求3所述的蒸镀载板，其特征在于，所述蒸镀载板还包括针脚装置，所述载板上设有针脚孔，在所述敏感胶的粘性降低后，所述针脚装置的顶针从所述针脚孔中伸出并顶起所述OLED基板。

10.根据权利要求9所述的蒸镀载板，其特征在于，所述针脚装置包括针脚安装部、多根顶针及自动控制部，所述针脚安装部安装在所述载板上，且所述针脚安装部可沿所述针脚孔的轴向运动，所述多根顶针中的每根顶针的一端固定在所述针脚安装部上，且所述每根顶针的另一端伸入所述针脚孔内，所述自动控制部与所述针脚安装部连接；

所述敏感胶的粘性降低后，所述自动控制部控制所述针脚安装部沿所述针脚孔的轴向运动，所述每根顶针均由所述针脚孔内伸出并顶起所述OLED基板。

11.根据权利要求10所述的蒸镀载板，其特征在于，所述每根顶针均沿轴向设有第一深孔和第二深孔，所述第一深孔与所述第二深孔连通，且所述每根顶针的第一深孔和第二深孔分别与所述低温流体供应部连通。

12.根据权利要求11所述的蒸镀载板，其特征在于，所述每根顶针的第一深孔和第二深孔连通位置处的横截面积大于所述第一深孔或所述第二深孔的横截面积。

13.根据权利要求3所述的蒸镀载板，其特征在于，所述冷却管道与所述载板通过焊接固定。

14.根据权利要求3所述的蒸镀载板，其特征在于，所述冷却管道的材料包括铜、银、铝、钼或钨。