[发明专利]一种碳化硅陶瓷的腐蚀方法在审
| 申请号： | 201610231407.4 | 申请日： | 2016-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN105837259A | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 黄政仁;刘泽华;闫永杰;张辉;姚秀敏;刘学建;蔡平;赵静 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | C04B41/91 | 分类号： | C04B41/91;C04B35/565 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;郑优丽 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 陶瓷 腐蚀 方法 | ||
【说明书】：
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