[发明专利]旋转靶材表面厚度、平面度的检测方法及检测系统

权利要求书

1.一种旋转靶材表面厚度的检测方法，其特征在于，包括以下 步骤：

(1)、喷涂前，获取测距模块与旋转靶材的轴线之间的距离为L， 并测量回转体的半径r；

(2)、喷涂时，回转体旋转，使测距模块跟随喷枪沿回转体的轴向 同步移动，并通过测距模块实时检测回转体的靶材涂层的外表面某一 点与测距模块之间的距离l；

(3)、根据步骤(1)及步骤(2)检测的数据，计算出回转体表面的靶 材涂层的实际厚度为：h＝L-r-l。

2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，在步骤(2)中， 测距模块的检测点与喷枪的喷涂点之间的距离为所述回转体每旋转 一周喷枪移动的距离的整数倍。

3.根据权利要求1或2所述的检测方法，其特征在于，所述喷 枪的两侧沿喷枪的移动方向设有多个测距模块。

4.一种旋转靶材表面平面度的检测方法，其特征在于，包括以 下步骤：

(1)、喷涂前，获取测距模块与回转体的轴线之间的距离L，并测 量回转体的半径r，

设定喷枪每个周期喷涂靶材材料的沉积厚度Δh和喷枪喷涂的周 期n，计算出回转体表面喷涂涂层的理论厚度为：Hn＝Δh*n；

(2)、喷涂时，回转体旋转，使测距模块跟随喷枪沿回转体的轴向 同步移动，并使测距模块实时检测涂层表面某一点与测距模块之间的 距离l；

(3)、根据步骤(1)及步骤(2)检测的数据，计算出回转体表面喷涂 涂层的实际厚度为：h＝L-r-l；

(4)、根据回转体表面的靶材涂层的实际厚度h和理论厚度Hn， 计算旋转靶材的表面平面度误差ΔH＝∣Hn-h∣，若h﹤Hn，则该被检测点 处有凸起；若h﹥Hn，则该被检测点处有凹坑；若h＝Hn则该被检测点 符合理论值要求。

5.根据权利要求4所述的检测方法，其特征在于，在步骤(2)中， 测距模块的检测点与喷枪的喷涂点之间的距离为所述回转体每旋转 一周喷枪移动的距离的整数倍。

6.根据权利要求4或5所述的检测方法，其特征在于，所述喷 枪的两侧沿喷枪的移动方向设有多个测距模块。

7.一种旋转靶材表面厚度、平面度的检测系统，包括驱动模块、 数据处理模块以及至少一个测距模块，其中，

所述测距模块位于所述回转体的一侧，所述测距模块与所述回转 体的轴线之间的距离为定值，

所述驱动模块驱动所述测距模块跟随所述喷枪同步地沿所述回 转体的轴向往复移动，

所述测距模块实时检测旋转靶材外表面某一点与测距模块之间 的距离并将检测数据发送给所述数据处理模块，

所述数据处理模块根据接收的所述检测数据，实时地计算出该被 检测点处的旋转靶材的厚度或平面度。

8.根据权利要求7所述的检测系统，其特征在于，所述测距模 块的检测点与喷枪的喷涂点之间的距离为所述回转体每旋转一周喷 枪移动的距离的整数倍。

9.根据权利要求8所述的检测系统，其特征在于，所述喷枪的 两侧沿喷枪的移动方向设有多个测距模块。

10.根据权利要求7至9中任一项所述的检测系统，其特征在于， 所述测距模块为光学测距模块，所述光学测距模块的检测点前设有滤 光片。