[发明专利]低温吸附材料分析表征系统

权利要求书

1.一种低温吸附材料分析表征系统，其特征在于：包括真空腔(11)、制冷机(20)，所述制冷机(20)的冷头位于真空腔(11)内，样品腔(13)可放置于容纳腔(12)中或从容纳腔(12)中取出，

该低温吸附材料分析表征系统还包括外筒体(31)和内筒体(32)；所述外筒体(31)的两端分别设置有第一、二盖板(33、34)，第一盖板(33)上设置有通孔供制冷机(20)的冷头插入，第二盖板(34)上设置有通孔供内筒体(32)插入；内筒体(32)位于外筒体(31)内的一端封闭并与制冷机(20)的冷头固定连接，内筒体(32)的另一端固定在第二盖板(34)上；内、外筒体(31、32)以及第一、二盖板(33、34)围合而成的腔室构成真空腔(11)，内筒体(32)的内腔构成所述的容纳腔(12)，

该低温吸附材料分析表征系统还包括第一气管(41)，所述的内、外筒体(32、31)以及第一气管(41)呈铅垂方向布置且第二盖板(34)位于上侧，第一气管(41)位于内筒体(32)内的一端固定连接样品盒(37)，第一气管(41)的另一端延伸至内筒体(32)外侧，待吸附气体的气源通过第一气管(41)连通样品腔(13)，延伸至内筒体(32)外侧的第一气管(41)的管壁上固定设置有第三盖板(35)，第三盖板(35)用于封闭容纳腔(12)，第一气管(41)和内筒体(32)之间填充有隔热材料，

所述的样品腔(13)和容纳腔(12)之间设置有冷却介质且冷却介质为氦气，第二盖板(34)上部设置有圆管(36)，圆管(36)的上下两端均设置有法兰分别与第三盖板(35)、第二盖板(34)相连，圆管(36)的管壁上设置有第二气管(42)，氦气气源通过第二气管(42)与圆管(36)的管腔连通。

2.如权利要求1所述的低温吸附材料分析表征系统，其特征在于：所述的样品盒(37)位于内筒体(32)的下部，内筒体(32)的上部设置有G10填充棒(38)，G10填充棒(38)通过间隙配合的方式安装在内筒体(32)中，G10填充棒(38)沿长度方向开设有通孔供第一气管(41)通过，G10填充棒(38)的外周壁上开设有螺旋状的凹槽(381)，圆管(36)管腔中的氦气通过凹槽(381)进入到内筒体(32)下部设置有样品盒(37)的腔室中。

3.如权利要求2所述的低温吸附材料分析表征系统，其特征在于：所述的内筒体(32)分为上段管体(321)和下段管体(322)，上段管体(321)为不锈钢材料制成，下段管体(322)为无氧铜材料制成，上段管体(321)和下段管体(322)采用真空钎焊的方式形成密封连接；G10填充棒(38)位于上段管体(321)中，样品盒(37)位于下段管体(322)中。

4.如权利要求3所述的低温吸附材料分析表征系统，其特征在于：所述的制冷机(20)包括一级冷头(21)和二级冷头(22)，内筒体(32)与二级冷头(22)固定连接；二级冷头(22)和内筒体(32)的下段管体(322)外侧套设有防辐射屏(39)，防辐射屏(39)的一端固定在一级冷头(21)上，其另一端固定在内筒体(32)的上段管体(321)上。

5.如权利要求4所述的低温吸附材料分析表征系统，其特征在于：包括底座(50)和真空管道(43)，所述的外筒体(31)和制冷机(20)均固定安装在底座(50)上，真空管道(43)固定安装在底座(50)的盖板上，真空泵通过真空管道(43)连通真空腔(11)。

6.如权利要求5所述的低温吸附材料分析表征系统，其特征在于：所述外筒体(31)的上端设置有法兰(311)，外筒体(31)通过法兰(311)与第二盖板(34)固定连接且法兰(311)和第二盖板(34)之间设置有密封圈；第二盖板(34)和内筒体(32)之间设置有密封圈；外筒体(31)的下端设置有圆环形法兰构成所述的第一盖板(33)，内筒体(31)、外筒体(32)、第二盖板(34)以及底座盖板上表面围合而成的腔室构成所述的真空腔(11)，圆环形法兰与底座(50)的盖板上表面通过O型密封圈密封。

7.如权利要求5所述的低温吸附材料分析表征系统，其特征在于：所述的内筒体(32)靠近二级冷头(22)的外周壁上设置有加热单元(62)，样品腔(13)、容纳腔(12)中以及下段管体(322)上均设置有温度传感器(63)用于采集相应腔室内的温度，真空管道(43)上设置有真空计用于采集真空腔(11)内的真空度。