[发明专利]一种蚀刻掩膜喷墨直接成像系统及工艺

权利要求书

1.一种蚀刻掩膜喷墨直接成像系统，其特征在于，包括喷墨打印机、图形文本点阵化输出控制模块；

所述图形文本点阵化输出控制模块用于将电子图形文件处理成所述喷墨打印机的输出控制系统识别的数据信号；

所述喷墨打印机包括输出控制系统、供墨装置、输出装置和掩膜固化成像装置；

其中，所述喷墨打印机的输出控制系统用于接收数据信号，然后由输出控制系统根据数据分别对供墨装置、输出装置、掩膜固化成像装置对应发出具体的供墨控制工作指令、喷墨工作指令和固化工作指令；

所述喷墨打印机的供墨装置用于解析上述供墨控制工作指令，得到图形图像数据量，然后向所述输出装置提供恒压恒流且足量的掩膜墨水；

所述喷墨打印机的输出装置用于解析上述喷墨工作指令，将所述掩膜墨水准确地喷射到工件具体的位置上形成图像信息；

所述喷墨打印机的掩膜固化成像装置用于解析上述固化工作指令，在图像信息成形后，随之对具体掩膜位置进行精准固化，在掩膜墨水由液态转为固态附着在基材表面完成蚀刻掩膜。

2.如权利要求1所述的蚀刻掩膜喷墨直接成像系统，其特征在于，

所述图形文本点阵化输出控制模块集成连接在所述喷墨打印机的主板上。

3.如权利要求2所述的蚀刻掩膜喷墨直接成像系统，其特征在于，

所述供墨装置包括外墨盒、软管及内墨盒和恒压泵系统；所述软管分别与所述外墨盒及内墨盒连通；所述恒压泵系统与所述外墨盒连通；所述恒压泵系统用于对所述外墨盒喷气以输送恒压的蚀刻掩膜墨水；所述外墨盒为自动调压墨盒。

4.如权利要求3所述的蚀刻掩膜喷墨直接成像系统，其特征在于，

所述输出装置具体为压电喷墨式打印装置或热发泡式打印装置。

5.如权利要求4所述的蚀刻掩膜喷墨直接成像系统，其特征在于，

所述压电喷墨式打印装置包括压电晶体；所述压电晶体用于接收脉冲信号，使其变形后产生瞬间压力，从而挤压所述内墨盒喷出一滴蚀刻掩膜墨水，在纸上形成一个墨点。

6.如权利要求4所述的蚀刻掩膜喷墨直接成像系统，其特征在于，

所述热发泡式打印装置包括加热装置；所述加热装置用于产生热量使蚀刻掩膜墨水形成气泡并喷出一滴蚀刻掩膜墨水，在纸上形成一个墨点。

7.如权利要求4所述的蚀刻掩膜喷墨直接成像系统，其特征在于，

所述输出装置还包括字车机构和驱动机构；所述驱动机构用于接收运动控制指令，驱动所述字车机构运动到目标位置处。

8.如权利要求1所述的蚀刻掩膜喷墨直接成像系统，其特征在于，

所述掩膜固化成像装置具体为紫外线固化装置或热固化装置。

9.一种蚀刻掩膜喷墨直接成像工艺，其特征在于，利用如权利要求1-8任一项所述的蚀刻掩膜喷墨直接成像系统实施处理，具体包括如下步骤：

步骤一：图形文本点阵化输出控制模块将电子图形文件处理成喷墨打印机的输出控制系统识别的数据信号；

步骤二：所述喷墨打印机的输出控制系统接收数据信号，然后由输出控制系统根据数据分别对供墨装置、输出装置、掩膜固化成像装置对应发出具体的供墨控制工作指令、喷墨工作指令和固化工作指令；

步骤三：所述喷墨打印机的供墨装置解析上述供墨控制工作指令，得到图形图像数据量，然后向所述输出装置提供恒压恒流且足量的掩膜墨水；

步骤四：所述喷墨打印机的输出装置解析上述喷墨工作指令，将所述掩膜墨水准确地喷射到工件具体的位置上形成图像信息；

步骤五：所述喷墨打印机的掩膜固化成像装置解析上述固化工作指令，在图像信息成形后，随之对具体掩膜位置进行精准固化，在掩膜墨水由液态转为固态附着在基材表面完成蚀刻掩膜。

10.如权利要求9所述的蚀刻掩膜喷墨直接成像工艺，其特征在于，

在所述步骤五之后，还包括如下步骤：

步骤六：清洗脱模：在墨水凝固成膜后需要脱膜时，在水中经过浸泡冲洗即可将膜层洗掉，并可通过过滤网将废水和脱离膜层分离达到水循环利用；

步骤七：烘干：对清洗脱模后的蚀刻板进行烘干处理。