[发明专利]一种绝对式光栅尺

权利要求书

1.一种绝对式光栅尺，包括主光栅和读数头部件，所述读数头部件包括增量位移测量单元，其特征是，所述读数头部件还包括第一分光镜、掩膜板和参考位置光电探测器，所述主光栅上分布有若干个参考编码道，任意相邻的两个参考编码道之间的距离与其余任意相邻的两个参考编码道之间的距离不相同，所述第一分光镜用于将光源的光分成射向主光栅的光束和射向增量位移测量单元的光束，所述射向主光栅的光束经过所述掩膜板到达所述主光栅并被反射后，再次经过所述掩膜板后被所述参考位置光电探测器接收，所述掩膜板上设有与所述参考编码道相同的编码道，所述掩膜板的位置设置成：射向所述掩膜板的光束被所述掩膜板反射后不被所述参考位置光电探测器接收。

2.如权利要求1所述的绝对式光栅尺，其特征是，

射向所述掩膜板的光束与所述掩膜板的法线之间具有一个锐角夹角。

3.如权利要求2所述的绝对式光栅尺，其特征是，

所述锐角夹角小于5°。

4.如权利要求1所述的绝对式光栅尺，其特征是，

所述掩膜板上的编码道上分布有透光单元和反光单元。

5.如权利要求1所述的绝对式光栅尺，其特征是，射向所述掩膜板的光束大小大于所述掩膜板上的编码道的宽度。

6.如权利要求1所述的绝对式光栅尺，其特征是，所述编码道的编码为：

0110000100000000100110000110100000001000000000011001000000100000000101000001100010000001001000001110，其中，1代表透光单元，0代表反光单元。

7.如权利要求6所述的绝对式光栅尺，其特征是，每个透光单元和每个反光单元的宽度为10μm。